実験装置 New XPS-IMP-TDS装置 New GD-OES装置 New 陽電子消滅測定装置 プラズマ駆動透過(PDP)装置 3種イオン同時照射装置 昇温脱離装置 電子スピン共鳴装置 偏向変調FTIR装置