実験装置

XPS-IMP-TDS装置: XPS測定、イオン照射、昇温脱離実験を大気曝露することなく可能な装置。

GD-OES装置: HからWまで様々な元素の深さ方向分布が測定可能です。

陽電子消滅測定(PAS)装置: 試料中の欠陥分布が評価可能です。

SUMPPU (Shizuoka University Material Plasma Permeation Unit): プラズマ駆動透過(PDP)装置

2種イオン同時照射装置

昇温脱離(TDS)装置

電子スピン共鳴(ESR)装置

偏向変調FTIR装置