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Information

現在の不具合のお知らせ / Trouble informations

2019.7.4 ESCA-3400

2度の強いベーキング作業によって問題が抑えられたので、ESCA-3400の共用を再開します。

ESCA-3400は稼働率が高いため装置内部、特に検出器が汚染されやすく、昨年度と今年度ですでに2度ほど整備のため停止しております。加えてメーカーサポートを依頼しても着手まで比較的長時間がかかっているので一旦停止すると停止が長期化しご迷惑をおかけしております。

この問題の原因は試料からのガス放出や飛散する試料を相当数導入されているためではないかと考えております。メーカーサポートを受ける際に、測定室や検出器から相当な量の飛散したり吸着した試料が見つかっているのがその判断根拠です。

装置をできるだけ適切に使用していただき、装置の稼働率をより向上させるために「新運用法がユーザーに周知される当面の間」ESA-3400の運用を以下のように変更したいと思います。

1.予約表は「要相談」として埋めておきこれまでのようにユーザーサイドで自由に予約できないようにします。予約はメール等で装置担当者(石川)とサブ担当者(早川)にご連絡ください。内容を踏まえてセンター教職員が登録をし、登録した旨を折り返し連絡します。
石川:ishikawa.makoto@shizuoka.ac.jp
早川:hayakawa.toshihiro@shizuoka.ac.jp

2.お送りいただくメールには、予約に必要ないつからいつまで使用したいか、研究室名、氏名、メールアドレス、内線番号に加えて、どのように作成されたどのような形態の試料(粉末or固体、フィルム等)か、何サンプル測定する予定であるかを明記してください。試料の素性を考慮して予約をセンター側で入れます。特に作成時に液体が関係した場合や粉末試料はその旨必ず明記してください。

3.試料が液体中で作成された場合や、粉末試料の場合には1日前からESCA脇に設置した真空キャビネット(ダイヤフラムポンプで到達圧力1Pa程度)に測定日前日の夕方から試料台に固定した試料を置いていただき、導入直前までガスだしと乾燥を行っていただきます。したがって、装置使用の1日前には試料をご用意ください。この処理に耐えられない試料はESCA内でも問題を起こしますので測定不可とします。

4.粉末用の試料台を従来のものから、より少量だけ固定できるものへ変更します。また粉末試料は1回の予約で最大6個までとします。

5.今回の措置の有効性を判断する材料として、1試料に1つワイドスペクトルを印刷して装置に置いたファイルに綴じていただきます。試料の詳細は聞きません。また必要に応じて次回の試料が問題を起さないかの判断材料の1つにさせていただきます。

6.上記3と4の説明と徹底のために全てのユーザーに最低でも1回は立ち合わせていただきます。

相当数のユーザーが適切に試料を導入していると判断した時点で、従来の使用法に再度戻したいと思います。ご利用いただいている皆様には不便をおかけする内容で恐縮ですが、装置の健全な運用のためにご理解とご協力をお願いします。また研究室のESCAをご利用の皆様に周知いただけますようお願いします。

The trouble of ESCA may be caused by the contamination of the detector. We think the main substances are the gas from samples and samples itself. In particular, powder samples damage the instruments. So, we will change the procedure of booking and sample hadling.

When you want to make a booking of ESCA. You must send e-mail to the Ishikawa and hayakawa, who are the person in charge of ESCA. In the e-mail, you must show following items.

  1. Your labolatory
  2. Your name (We don't allow the name of agent)
  3. e-mail adress
  4. phone number
  5. the number of samples
  6. the states of samples (solid, film or powder)
  7. How to make the sample

In the cases that the sample which is made in the liquid or the sample is powder, you must stay these samples in the vacuum cabinet next to ESCA the day before.

After juding wheter your samples are good or not, your booking  is entered to the booking site and we send you the e-mail. If the sample is not to enter into the vacuum chamber, we also send you the e-mail.

The number of powder samples are limited up to 6. The way to fix the sample on the sample holder is cahnged. At least once we attend your sample preparation to instruction of the changing points.

 

2019.7.2 MS

ESIの修理が完了しました。

ESI has been fixed.

 

 

 

2019.6.3 XPS

ロードロックチャンバのターボ分子ポンプが正常動作しなくなりました。現在メーカーに調査と修理を依頼しています。当面の間、使用できません。

The Turbo Molecure Pump for load lock chamber doen't spin normaly. So we call the tehnical support and stop the sharing of XPS for the time being.   

 

2019.6.3 conventional SEM

レンズ系の不具合の修理が完了しました。 

The lenz system has been fixed.

 

2019.5.30 Microscope FT-IR

FT-IRの顕微ユニット内の検出器の劣化に対応する修理を行っております。完了までに約2週間かかります。この期間、顕微FT-IR測定はできませんが顕微ユニットを使わない通常のFT-IR測定はできます。

Microscope unit of FT-IR has been repaired from today. The repaire needs 2 weeks. Even if in this term, you can use FT-IR without using microscope unit.

 

 


過去のお知らせ / back number

2019.6.17 ESCA-3400

ESCA-3400につきまして、下図はAu試料のワイドスペクトルですが、B.E.200 eV以下の領域のバックグランドが右上がりになっています。また1000eV付近にも不自然なバックグランドの盛り上がりがあるように思われます。これは検出器の汚れ等による不具合であると思います。放置しておくと状況がひどくなることはあっても直りませんのでメーカーに修理依頼をしました。

About ESCA-3400, the following spectrum shows the wide scan of Ag plaete. At the resion under B.E. 200 eV, the intencity of the backgroud become higher with B.E is decresed. The unusual structure may be caused by the contamination of the detector. We have called the technical support. Please consider that the strange structure disturb your easurment or not when you book.

2019.6.17 MS

ESIのニードルが変形したため、現在、メーカーより部品取り寄せ中です。当面の間、ESIによる測定はできません。APCIのプローブでの測定は可能です。測定方法が分からない場合は装置担当者に相談して下さい。

The needle of ESI was deformed and ordered parts to maker.So you can't analyze by ESI. But you can analyze by ACPI.If you want to analyze by APCI ,please consult center staff.

2019.5.21 conventional SEM

レンズ系の不具合により使用を停止します。修理は5月30日の予定です。 

The lenz system has any trouble. So, we stop sharing. The repair will is scheduled at 30 May.

 

2019.5.21 FE-EPMA

 EPMAは組み込みPCのソフトウエアを更新しました。問題が出ないようなので共用を再開します。

The firmware of built-in computer in FE-EPMA system has been changed. The trouble may be surpressed. So, we resume shareing.

 

2019.5.21 ESCA-3400

エッチング銃のフィラメントが切れています。5/20-21で修理予定です。  

Ion gunIon's filament has been changed, So, we resume shareing.

 

2019.5.13 Ion Slicer

イオンスライサーの修理が完了しました。  

Ion slicer has been fixed.

 

2019.5.15 FE-EPMA

 EPMAはメーカーによる修理・調整を受けました。現在様子見をして問題が解決されたかを見極め中です。

FE-EPMA was repaired today. Now, we check the effect  of the repair.

 

2019.5.13 ESCA-3400

エッチング銃のフィラメントが切れています。5/20-21で修理予定です。  

Ion gunIon's filament is broken.  been fixed. The repair is scheduled at 20-21 May.

 

2019.5.13 FE-EPMA

 EPMAは内部の通信不良が原因で現在使用できません。5月15日にメーカー修理が予定されています。

FE-EPMA has the trouble of internal communication. The repair is scheduled at 15 May.

2019.2.4 その場FE-SEM(JSM7001F)  / FE-SEM(JSM7001F) in Joint reserch center

  3月14日~3月22日の期間、電子銃の交換及び排気系のメンテナンスを実施します。この期間一切の使用はできません。また作業の進捗状況次第で日数が延びますのであらかじめご了承ください。

・FE-SEM(JSM-7001F) in Joint Research Center cannot be used from 14th, March to 22th, March by the maintenance.

2018.11.13 イオンスライサー / Ion slicer

メーカーが部品を入手できたとのことですので、今週もしくは来週に修理が実施されます。

Repair may be done at this week or next week.

2018.11.13 分析FE-SEM (JSM-7001F) / Analytical FE-SEM (JSM-7001F) 

電子銃が交換・調整作業が完了しました。PCに内臓のCD-Rドライブが不調ですので、USB接続で外付けのCD-Rドライブをつけております。データ移動の際にご利用ください。

The exchange and repair of electron gun has been finished. CD-R drive on PC has been broken. So, we attached USB CD-drive. When you move your data, please use it.

2018.11.9 FT-IR

赤外線はまったくでなくなったわけではないようですので、11月12日から共用を再開しますが、また赤外線が出なくなる可能性はありますので使用する際にはご注意ください。近日中にメンテナンスを実施する予定です。修理完了日はわかり次第お知らせします。

Since infrared does not come out at all, it will resume sharing from November 12, but please be careful of the intensity of the signal. Maintenance will be carried out soon. We will inform you the details of the repair as soon as it is determined.

 

 

 

 

2018.11.2 XPS (Axis Ultra)

試料導入時にターボポンプの回転数が上がらないときがあるようです。試料導入後ターボポンプが正常に回転していることを確認してください。

It seems to be a problem that the rotation of TMP is not increased after closing the introduction chamber. Please be careful on the condition of TMP after closeing introduction chamber.

2018.11.2 ESCA (ESCA-3400)

ESCA-3400の修理が完了しましたが、前回同様の問題が発生したときには比較的短期間で再発しましたので、しばらくの間データに注意してください。

Repair of ESCA - 3400 is finished, but when the same problem occurred the previous time, it recurred in a short time, so please be careful about the data for a while.

2018.8.31 予約の週間最大数につきまして

予約表の装置名の右横にある虫眼鏡アイコンをクリックしたときに表示される装置の詳細の中に、「週間最大予約数」を追加しました。この週間最大予約数は1つのログインアカウント(通常は研究室単位)で1週間の中で予約できる枠の上限の数を意味しています。たとえば半日単位の装置が最大予約数が4となっていれば、1週間の中で半日を4回まで予約できることを意味します。半日x4の内訳は自由ですので半日の予約を4日でも、終日を2日でも、半日を2日と終日を1日でもかまいません。この制限は装置を大勢のユーザーで平等に使用していただくための措置です。上限数に達していても装置自体が開いている場合には時間外予約と同じ方法で使用申請していただければ状況を判断して可能であればご利用いただけます。

2018.11.9 イオンスライサー / Ion slicer

修理依頼を出しておりますが、部品の手配に時間がかかるとのことです。修理予定は決まり次第このページを中心にご案内します。

Since it takes time to obtain repair parts, it may take several weeks or more to restore.

2018.11.9 分析FE-SEM (JSM-7001F) / Analytical FE-SEM (JSM-7001F) 

電子銃が交換・調整作業は11月13日の午前中一杯の予定になりました。

The echange and repair of electron gun will finish at the noon of November 13.

 

2018.11.7 FT-IR

赤外線が出なくなったようです。大至急修理を依頼する予定ですが、修理完了まで装置は使用できません。修理完了日はわかり次第お知らせします。

IR does not come out. We call the repair.  FT-IR cannot be used until the repair is finished. The detail will be announced as soon as we know.

 

2018.11.8 分析FE-SEM (JSM-7001F) / Analytical FE-SEM (JSM-7001F) 

電子銃が交換・調整作業は最短で11月12日の夕方に完了する予定ですが、11月16日まで延びる可能性もあります。詳細が決まりましたら、ここでお知らせします。

The echange and repair of electron gun may finish at the evening of November 12. In the worst case, the repair may continue to Noveber 16. The detail may be announced as soon as determined.

 

2018.10.30 イオンスライサー / Ion slicer

制御用のPCのハードディスクの不良により使用できません。ハードディスクの積み替えやシステムの再インストールが必要になるので復活まで数週間かそれ以上かかる可能性があります。

The HDD in Ion slicer is broken. It may needs several weeks to repair.

 

2018.11.2 分析FE-SEM (JSM-7001F) / Analytical FE-SEM (JSM-7001F) 

電子銃が再交換せざるを得ない状況になりましたので、11/9には作業完了しません。詳細が決まりましたら、ここでお知らせします。

The electron gun must be changed again because the electron gun take a serious damage by sudden shut down of its ion pump. So the term of the repairing may expand from November 9. The detail may be announced as soon as determined.

 

2018.10.31 分析FE-SEM (JSM-7001F) / Analytical FE-SEM (JSM-7001F) 

電子銃の不具合により使用できません。メーカーに修理作業を進めてもらっていますが順調に復旧作業がすすんだとしてもベーキングやその後の調整で11/9まで装置は使用できないとのことです。従いまして、11/9までの予約を一旦キャンセルいたします。

The trouble of electron gun is caused. Maker's engineer says that the repair will finish at November 9 if no more problem is caused. So, we once delete all reservations up to Nov. 9.

2018.10.26 ESCA (ESCA-3400)

ESCA-3400のB.E. 300 eV以下でベースラインが上がる問題について11月1、2日でメーカーの対応作業が予定されました。

The repair of ESCA-3400 is scheduled at November 1 and 2.

2018.10.30 分析FE-SEM (JSM-7001F) / Analytical FE-SEM (JSM-7001F) 

電子銃の不具合により使用できません。10/31にメーカーの点検を受けます。問題は数日では解決しないと思われます。

The trouble of electron gun is caused. Maker's engineer will check at October 31. We think that the problem is not resolved in a few days.

2018.10.24 ESCA (ESCA-3400)

B.E. 300 eV以下でベースラインが上がる問題が現れております。メーカーの指示で10/23-24でベーキング処理を行いました。今はその様子見をしています。

The trouble that the baseline increases under B.E. 300 continues. At the bigging of this week, we try to bake the chamber by the suggestion of maker's engineer. Now, we chech the effect of the baking.

 

2018.10.24 XPS

10月26日(金)の正午ごろに予約システムで従来どおり予約できるように表示を修正します。

We are planning to open to the public from October 29 (Monday). So, we will delete the status about XPS on our web reservation system at noon of Octorber 26(Friday).

2018.10.11 XPS

現在いくつかの研究室を指定して動作チェックを目的としたプレ共用を行っております。一般開放は10月29日(月)からを予定しております。

Now. the system is opened to some laboratories to check the condition.  We are planning to open to the public from October 29 (Monday).

 

2018.10.9 ESCA (ESCA-3400)

B.E. 300 eV以下でベースラインが上がる問題が再度現れるようになりました。メーカーと対応を協議しております。 測定希望ピークがこの範囲に入っている場合測定困難になります。

The problem that the baseline increases under B.E. 300 is caused again. We call the repair. When the target peaks are in this region, it is very hard to measure.

 

2018.10.9 XPS

長くつづいてご迷惑をおかけしておりました修理とメンテナンス作業が完了しました。ただいま学内での確認作業を進めております。

 

2018.10.2 分析FE-SEM / analytical FE-SEM in nanodevice center

EDSコントローラーの電源の修理は完了しました。

The repair of EDS has been finished.

2018.9.27 XPS

ターボ分子ポンプの交換作業が早ければ10月2日もしくは3日に行うよう日程調整をすすめております。

The broken TMP pump will be changed at Oct. 2.

2018.10.2 ESCA (ESCA-3400)

B.E. 300 eV以下でベースラインが上がる問題が解決されているかもしれません。様子を見ております。不具合が再現されるようでしたらご連絡ください。

The problem that the baseline inreases under B.E. 300 may be solved. We are observing the progress.  If any problem still remains, please contact with us.

2018.10.2 analytical FE-SEM

・分析FE-SEMの修理完了

・New Repair information about analytical FE-SEM

2018.9.19 ESCA (ESCA-3400)

ESCA-3400の検出器に不具合があり、B.E.300eV以下で不自然な信号強度の増加が見られます。修理依頼を検討しておりますが、このあたりに目的のピークがないか事前に検討ください。

ESCA-3400 has the troubele that the intencity under B.E. 300eV is increasing unnaturally because of the detector trouble. You must check that your target peaks is in the range or not. We think that the maintenance is needed soon.

2018.9.26 分析FE-SEM / analytical FE-SEM in nanodevice center

EDSコントローラーの電源の修理が10月2日に予定されました。

分析FE-SEMの電子銃の交換は無事終了しました。(2018.9.14)

The maintenance of analytial FE-SEM has been finished.(2018.9.14)

その場FE-SEMは、鮮明な像が得られない問題があるためメーカーによる調整が必要ですので、予約をキャンセルします。8月30日もしくは8月31日に顕微鏡は調整される予定です。

Scanning electron microscope(JSM-7001F) in joint research center has a problem that a clear image can not be obtained, so adjustment by the manufacturer is necessary, so cancel the reservation. The microscope will be adjusted on August 30 or August 31.

分析FE-SEMの電子銃のエミッタ交換、イオンポンプ交換、ベーキング作業、電子銃の調整作業が8/30から9/7に決定しました。供用の再開はこの期間以降となる予定です。(2018.8.23)

Analysis FE-SEM will be repaired between 8/30 to 9/7. Sharing service may restart after this repair. (2018.8.23)

イオンスライサーのマスキングベルトは6/29入荷予定です。(2018.6.28)

簡易AFMはメーカーの保守満了によりメーカー修理が受けられないので復帰の見込みはほぼありません。従いまして予約を無期限で停止します。これに伴い、予約表から削除します。(2018.6.15)

Since AFM(Keyence VN-8010N)  can not receive maker repair due to maker's maintenance expiration, there is little chance of return. Therefore we will stop the reservation indefinitely and delete it from the reservation table.(2018.6.15)

 

FIBの電子銃が非常に不安定になりSEM像観察が困難です。近いうちに交換するつもりですが、SEM像を必要とする使用は困難です。状況確認や相談は装置担当者(高橋)までお願いします。(2018.4.18)

The electron gun of FIB is very unstable and it is difficult to observe the SEM image. Thus, it is very difficult to use FIB using SEM image. Please contact the Takahasi for condition confirmation and consultation.

分析FE-SEMの電子銃はメーカーの点検が終わりましたが電子銃の機能不全で現在も使用できません。相当大規模な修理になると思いますので、数週間単位で使用できない状態になると思います。申し訳ありませんがひとまず8月5日までの予約をすべてキャンセルとします。(2018.7.25)

The Analysis FE-SEM has the serious trouble on the electron gun. Heavy maintenace may be needed. So, the repaire may need several weeks. We are sorry but we will cancel all reservations until August 5. (2018.7.25)

熱分析装置の修理が完了しました。(2018.5.24)

The repair of thermo Analysis has been finished.(2018.5.24)

分析FE-SEMの不具合が解消されました。原因はチラー内部での漏電でした。(2018.6.26)

Analysis FE-SEM has been repaired.(2018.6.26) 

分析FE-SEMはチラーの不具合のため現在使用できません。(2018.6.20)

Analysis FE-SEM cannot be used because of the trouble of the water-cooling system.(2018.6.20) 

予約表に予約できない不具合が発生しているようです。予約できない場合はセンター事務室で予約手続きをいたしますのでメールもしくは電話にてご連絡ください。(2018.6.13)

Reservation system may have a trouble. If you cannot reserve as usual, please send the e-mail or phone call to the office. The officer will add your reservation.(2018.6.13)

 

ナノデバイスセンターが工事のため停電します。従いまして6月15日から6月18日まで、ナノデバイスセンターの装置は使用できません。(2018.5.29)

The device in nandevice center can not be used due to power failure from June 15 to June 18.(2018.5.29)

分析FE-SEMの試料ホルダの検出機構の不具合とトランスファロッド周辺のリークについての緊急整備を実施し、不具合が解消されました。(2018.5.21)

(Analytical FE-SEM) The trouble of sample detection system on the stage has been solved.(2018.5.21)

ESCAの修理が完了しました(2018.4.27)。

The repair of ESCA has been finished.(2018.4.27)

熱分析装置(DTG-60A)はディテクタの故障により、現在使用できません。復旧次第お知らせします。(2018.4.12)

Thermo Analysis (DTG-60A) has the trouble. Therefor, the instrument cannot be used. (2018.4.12)

予定されていたXPSの真空ゲージの交換修理は完了しましたが、予備室周辺でのリークが見つかったので状況確認のため予約受け付けを数日延期します。状況次第では再開は相当期間延期になります。(2018.3.13)

The scheduled replacement of XPS vacuum gauge was completed. However we were  pointed out an air leak around the introduction port. So we will postpone the acceptance of new reservation for several days in order to check the situation. Depending on the situation, resumption will be postponed for a considerable period.(2018.3.13)

 

簡易AFM(VN-8010)はカンチレバー(センサー)と本体の間の接触不良が著しくなったので予約を受付を停止しました。復旧のめどはたっておりません。使用を希望する方はや詳細をご希望の方はセンター事務室までご連絡ください(2018.3.1)

AFM(VN-8010) has the trouble on the tip mount system. So, we stop booking. We think that it is diffiult to recieve the repair service because the instruments is very old. When you want to use it or need more information, please contacu us.(2018.3.18) 

 

SEM/EDS(10F)はPCの動作不良により使用できないため。予約受付を停止しました。本年度内の復旧は難しいと思います。詳細はセンター事務室までお願いします。(2018.3.1)

SEM/EDS(10F) cannot be used by the trouble of PC. We think that it is too hard to recover until April. If you need the details about it, please contact with us.(2018.3.1) 

 

ESCAは試料導入室のターボポンプの不良により修理完了まで停止させますので、予約できません。修理依頼はしてありますが、日程は未定です(2018.4.4)。

ESCA stops until repair is completed due to the trouble of the turbo molecure pump in sample introduction room, so it can not be reserved. We have requested a repair, but the schedule is undecided.(2018.4.4)

 

STEMのEDS測定に不具合が有ります。現在メーカーに問い合わせているところです。(2018.3.27)

XRD(10F)は復旧しましたので、予約受付を再開します。(2018.3.13)

XRD(10F) is fixed. So, you can use it. (2018.3.13)

XRD(10F)はシャッターが開かないトラブルが発生しましたので、しばらく使用できません。新しい情報がありましたらこちらでご報告します。(2018.3.9)

XRD(10F) has the trouble on the sutter. So, the instrument cannot be used. We will announe the new infomation on this column. (2018.3.9)

新XPSの修理が3月13日に決定しました。予約の受付開始は作業完了確認後に行います(2018.3.5)

XPS will be repaired at March 13. We will recieve new reservations after the repair is finished. (2018.3.5)

XPSのトリートメントチャンバの真空ゲージが故障したためXPSは使用できません。当面すべての予約をキャンセルします。修理日程が決まり次第このお知らせにてご報告します。(2018.2.23)

XPS can not be used because the vacuum gauge of the XPS treatment chamber has failed. Therefore we will cancel the reservation. We will announce the repair schedule as soon as it is decided. (2018.2.23)

・友田特任職員は今年度で退職です。 2月は、20日(火)・22日(木)・26日(月)・27日(火)が休暇です。なお、3月は水曜日しか出勤しない予定(主に片付け)です。 (2018.2.19)

XPSの修理が完了しました(2018.1.26)

The repair of XPS is finished.(2018.1.26)

新XPSの修理が1月26日に急遽決定しました。(2018.1.25)

XPS will be repaired at Jan. 26. (2018.1.25)

・エアコンの設置工事のため2月7日と8日はNMRは使用できません。(2018.1.23)

・For installation work on air conditioners, NMR can not be used on February 7th and 8th. (2018.1.23)

・FIBのガリウムソースの交換を2/13~2/16で行いますので、この期間はFIBはご利用いただけません。(2018.1.15)

・Gallium source will be exchanged between Feb. 13 to 16, so FIB can not be used during this period. (2018.1.15)

・「分析FE-SEM」と「その場計測FE-SEM」が非常に混み合ってきました。そのため、利用単位を2時間にしました。9-11,11-13,13-15,15-17です。 試料準備等で少し時間がかかる場合は11時から予約してもらうと、9-11に他の研究室が予約できます。よろしくお願いします。(2016/12/12 友田)

・学内のごみの出し方の変更にともない、9月からセンター内のごみ箱を撤去しました。機器利用後は残試料、ごみ(可燃物、不燃物ともに)は利用者が持ち帰って下さい。(2016/09/05 友田)