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論文・学会発表リスト

2021年度

-論文-
1. A. Hosaka, T. Miyaki, Y. Mizushima, S. Hamada, R. Koshino, A. Fukunaga, T. Sanada., Nodule deformation on cleaning of PVA roller brushes and its relation to cross-contamination, Journal of Photoplymer Science and Technology, Vol. 34. 505-509 (2021). Link
2. Y. Mizushima, A new ray-tracing-assisted calibration method of a fiber-optic thickness probe for measuring liquid film flows, IEEE Transactions on Instrumentation & Measurement 70 7503808 (2021). Link
3. H. Kusuno, T. Sanada., Flow Structure and Deformation of Two Bubbles Rising Side by Side in a Quiescent Liquid, Fluids, Vol. 6 (11). 390 (2021). Link
4. Y. Matsumoto, Y. Mizushima, T. Sanada, Removing Gas from a Closed-End Small Hole by Irradiating Acoustic Waves with Two Frequencies, Micromachines 13 (1), 109 (2022). Link
5. A. Hosaka, Y. Mizushima, S. Hamada, R. Koshino, A. Fukunaga, T. Sanada., Static and dynamic interaction between polyvinyl acetal brushes and flat surfaces—Measuring near-surface brush volume ratio and nodule volume change for moving brushes, Microelectronic Engineering, Vol. 255. 111721 (2022). Link
6. 奥井貴之, 水見俊介, 田畑創一朗, 真田俊之, 水嶋祐基, 光ファイバープローブを用いた気流に伴われた薄膜流の膜厚測定の実験的検証, 混相流, Vol.36 (1), 70-77, (2022). Link

-国際会議-
1. T. Miyaki, Y. Mizushima, S. Hamada, R. Koshino, A. Fukunaga, T. Sanada, Nodule Deformation of PVA Roller Brushes on a Rotating Plate: Optimum Cleaning for Nanosized Particles due to Liquid Absorption and Desorption of Sponge Deformation, The Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS2021).
2. T. Okui, T. Sanada, Y. Mizushima, S. Mizumi, S. Tabata, A Novel Thickness Measurement Method of Liquid Film in Air Flow via Optical-Fiber-Based Reflective Probe, Turbomachinery Technical Conference & Exposition (Turbo Expo 2021), GT2021-440.
3. A. Hosaka, T. Miyaki, Y. Mizushima, S. Hamada, R. Koshino, A. Fukunaga, T. Sanada., Measurement of near-surface brush volume ratio and nodule volume change for moving PVA brushes, Asian Workshop on Planarization/ CMP Technology 2021.(Best Paper Award受賞)
4. Y. Miyachi, H. Furuichi, T. Sanada, Y. Mizushima, Application of multipoint gas-liquid phase detection by using a film-based optical waveguide to droplet impingement.
5. Y. Matsumoto, Y. Mizushima, T. Sanada., Gas expelling phenomena due to gas column oscillation in a closed-end holes by irradiating acoustic wave, JSSUME2020+1.

-国内会議-
1. 保坂篤紀,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,円柱およびロール型PVAブラシの表面との相互作用,日本機械学会関東支部講演会(若手優秀講演フェロー賞受賞).
2. 保坂篤紀,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,PVAローラーブラシ洗浄におけるブラシ変形と再汚染,フォトポリマーカンファレンス.(招待講演)
3. 川田竣哉,真田俊之,水嶋祐基,フィルム型光導波路を用いた液膜厚さ計測精度に関する検討,日本混相流シンポジウム2021(ベストプレゼンテーションアワード受賞).
4. 松本悠汰,水嶋祐基,渡部正夫,真田俊之, 異なる周波数の音波照射による閉端孔からの気体排出,日本混相流シンポジウム2021.
5. 奥井貴之,真田俊之,水嶋祐基,光ファイバープローブを用いた気流に伴われた液膜流における膜厚測定精度の検討,日本混相流シンポジウム2021.
6. 楠野宏明,真田俊之,並列で上昇する2気泡の反発挙動に関する数値解析,日本混相流シンポジウム2021.
7. 宮地慶亞,古市肇,真田俊之,水嶋祐基,フィルム型光導波路を用いた衝突液滴計測における液滴表面挙動と出力信号の関係, 日本混相流シンポジウム2021.
8. 古市肇,上遠野健一,水嶋祐基,真田俊之,フィルム型光導波路を用いた液膜厚さ計測手法における液膜表面形状の影響評価,日本混相流シンポジウム2021.
9. 真田俊之,楠野宏明,鉛直線上の2気泡間相互作用,日本混相流シンポジウム2021(キーノート).
10. 保坂篤紀,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,静止および動作中のPVAブラシと接触面との相互作用,界面ナノ電子化学研究会第6回ポスター展.(委員長特別賞受賞)
11. 松本悠汰,水嶋祐基,渡部正夫,真田俊之, 音波照射による液体中での閉端孔内気体振動およびその排出現象,日本機械学会第99期流体工学部門講演会.
12. 宮地慶亞,古市肇,真田俊之,水嶋祐基,フィルム型光導波路を用いた多点気液相検出法の開発,日本機械学会第99期流体工学部門講演会.

-その他-
1. 宮木翼,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,回転ウエハー上の PVA ローラーブラシ変形挙動観察, 第190回プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
2. 保坂篤紀,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,PVA ブラシスクラブ時における表面近傍での存在割合, 第190回プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
3. 保坂篤紀,半導体洗浄用スポンジの接触解析,MATLAB EXPO2021 Link
4. 楠野宏明,2つの気泡にはたらく力の実験・数値解析,MATLAB EXPO2021 Link

 

2020年度

-論文-
1. 楠野宏明, 真田俊之, 直線上昇する気泡の境界層内速度分布, 日本機械学会論文集, Vol. 86 No. 884, p. 19-00453 (2020) Link.
2. K. Yamaguchi, T. Sanada, Y. Mizushima, Accurate thin-film measurement method based on a distribution of emitted laser intensity from optical fiber: Proposal of step light emitted model for ray-tracing simulation, Mechanical Engineering Letters, Vol.6, 00419 (2020) Link.
3. T. Miyaki, Y. Mizushima, S. Hamada, R. Koshino, A. Fukunaga, T. Sanada, Nodule Deformation of PVA Roller Brushes on a Rotating Plate: Optimum Cleaning for Nanosized Particles due to Liquid Absorption and Desorption of Sponge Deformation, Solid State Phenomena, Vol.314, 253-258 (2021) Link.
4. H. Kusuno, T. Sanada, Wake-induced lateral migration of approaching bubbles, International Journal of Multiphase Flow (2021) Link.

-国際会議-
1. T. Sanada, Y. Mizushima, M. Watanabe, Gas column oscillation inside a closed-end hole and its expelling by irradiating an acoustic wave, The 73rd Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics, (2020), Virtual.
2. H Kusuno, T Sanada, Lift Force Acting on the Trailing Bubble in the Leading Bubble's Wake, The 73rd Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics, (2020), Virtual.
3. K Yamaguchi, Y Mizushima, Development and optimization of Optical-fiber-based Reflectance Probe (ORP) for liquid-film thickness measurement, The 73rd Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics, (2020), Virtual.

-国内会議-
1. 保坂篤紀,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,円柱およびロール型PVAブラシの表面との相互作用,応用物理学会界面ナノ電子化学研究会フォーラムINEF2020(2020).
2. 宮木翼,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,PVAローラータイプブラシの変形および液体給排挙動観察,応用物理学会界面ナノ電子化学研究会フォーラムINEF2020(2020).(委員長特別賞受賞)
3. 真田俊之,水嶋祐基,渡部正夫,音波照射による液体中の気柱振動およびその排出現象,日本機械学会第98期流体工学部門講演会(2020).
4. 安達隆之介, 渡部正夫, 小林一道, 藤井宏之, 真田俊之, 液滴衝突直後に発生する splash 発生における濡れ性の効果,日本機械学会第98期流体工学部門講演会(2020).
5. 森一貴, 渡部正夫, 小林一道, 藤井宏之, 真田俊之, 高速液滴衝突時に発生する splash の減圧環境下の観察,日本機械学会第98期流体工学部門講演会(2020).
6. 水嶋祐基,【キーノート講演】光ファイバーを用いた液膜流中における厚さ計測法の開発,日本機械学会第98期流体工学部門講演会(2020).
7. 奥井貴之,真田俊之,水嶋祐基,光ファイバープローブを用いた液膜流中での厚さ計測に関する考察,化学工学会年会学術講演発表会第51回秋季大会(2020).
8. 保坂篤紀,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,回転に伴うPVAブラシの壁面近傍での存在割合の観察,精密工学会2020年度秋季大会(2020).
9. 宮木翼,水嶋祐基,濱田聡美,小篠諒太,福永明,真田俊之,回転ウエハー上のPVAブラシ変形挙動観察,精密工学会2020年度秋季大会(2020).
10. 西村拓己,水嶋祐基,真田俊之,高速気流による単一液滴加速装置の開発,日本混相流シンポジウム2020(2020). (ベストプレゼンテーションアワード受賞)
11. 奥井貴之,真田俊之,水嶋祐基,光ファイバープローブを用いた液膜流中での厚さ計測に関する考察,日本混相流シンポジウム2020(2020).(ベストプレゼンテーションアワード受賞)
12. 楠野宏明,真田俊之,鉛直線上で上昇する2気泡間相互作用の数値解析,日本混相流シンポジウム2020(2020).
13. 山口寛平,水嶋祐基, 3次元光線追跡シミュレータを用いた光ファイバーによる液膜厚さ計測法に関する考察, 日本混相流シンポジウム2020(2020).
14. 川田竣哉,水嶋祐基, 光ファイバーを用いた液膜厚さ測定法に関する実験的研究,日本混相流シンポジウム2020(2020).

-その他-
1. T. Sanada, "Force acting on a pair of clean bubbles rising in line", Theoretical and Applied Mechanics Consortium Kickoff Symposium
2. 真田俊之, "物理洗浄における接触と非接触", The 4th Ebara Open Innovation Symposium on Cleaning Technology.
3. 真田俊之, "流体の物理作用の援用よる低環境負荷洗浄技術". 日本学術振興会第183委員会 第58回研究会.

2019年度

-論文-
1. Hiroaki Kusuno, Hiroya Yamamoto, Toshiyuki Sanada, "Lift force acting on a pair of clean bubbles rising in-line", Physics of Fluids, 31, 072105 (2019), Open Access.
2. Keishi Yamada, Yuki Mizushima, Satomi Hamada, Akira Fukunaga, Hirokuni Hiyama, Toshiyuki Sanada, "Measurement Method for Adhesion Forces between Polyvinyl Acetal Brushes and Flat Surfaces", ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8(11), P740-749 (2019), Open Access.
3. Taku Ashida, Masao Watanabe, Kazumichi Kobayashi, Hiroyuki Fujii, Toshiyuki Sanada, "Hidden prompt splashing by corona splashing at drop impact on a smooth dry surface", Physical Review Fluids, 5(1), 011601 (2020), Link.
4. 古谷勇貴,水嶋祐基,渡部正夫,真田俊之, 音波照射による閉端円管からの気体排出促進, 混相流、34(1), 111-117, (2020), Open Access.

-国際会議-
1. T. Sanada, "Interaction of a pair of bubbles in quiescent liquids", 10th International Conference on Multiphase Flow (ICMF2019), (Keynote Lecture).
2. H. Kusuno, T. Sanada, "Boundary layer structure of axisymmetric flow around a spherical bubble", 10th International Conference on Multiphase Flow (ICMF2019)
3. Y. Furuya, T. Sanada, M. Watanabe, "A model for gas column oscillation inside a hole by irradiating an acoustic wave", ASME-JSME-KSME 2019 Joint Fluids Engineering Conference (AJK2019) Link.
4. H. Kusuno, T. Sanada, "A computational estimation of velocity distribution of boundary layer on a spherical bubble", ASME-JSME-KSME 2019 Joint Fluids Engineering Conference (AJK2019) Link.
5. T. Sanada, "Direct Measurement of Adhesion Forces Between PVA Brushes and Surfaces", 23rd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization (CAMP2019).
6. T. Miyaki, T. Sanada, Y. Mizushima, A. Fukunaga, H. Hiyama, Real contact area estimation of PVA brush pressing on a plate, International Conference on Planarization Technology (ICPT2019).
7. K. Yamada, T. Sanada, Y. Mizushima, A. Fukunaga, H. Hiyama, Measurement of adhesion forces between PVA brush and surface, International Conference on Planarization Technology (ICPT2019).
8. T. Miyaki, T. Sanada, Y. Mizushima, A. Fukunaga, H. Hiyama, Contact Area Distribution during PVA Brushes Scrubbing, 236th ECS Meeting, 16th International Symposium on Semiconductor Cleaning Science and Technology (SCST 16), Link.
9. K. Yamada, T. Sanada, Y. Mizushima, A. Fukunaga, H. Hiyama, Skin Layer Effects on Adhesion Forces of PVA Brushes and Its Temperature Dependence, 236th ECS Meeting, 16th International Symposium on Semiconductor Cleaning Science and Technology (SCST 16), Link.
10. M. Watanabe, T. Ashida, K. Kobayashi, H. Fujii, T. Sanada, Surrounding gas-independent splash at high-velocity drop impact with a projected smooth solid surface, The 72nd Annual Meeting of the American Physical Society's Division of Fluid Dynamics.

-国内会議-
1. 古谷勇貴, 真田俊之, 水嶋祐基, 渡部正夫, "音波照射による閉端円管からの気体排出促進", 混相流シンポジウム2019, (ベストプレゼンテーションアワード受賞
2. 楠野宏明, 真田俊之, "軸対称球形気泡周りの速度境界層分布", 混相流シンポジウム2019, (ベストプレゼンテーションアワード受賞
3. 水嶋祐基, "界面反射光を用いた単一光ファイバープローブによる液膜厚さ計測の開発", 混相流シンポジウム2019
4. 山田恵司, 真田俊之, 水嶋祐基, 福永明, 檜山浩國, "PVAブラシの付着力に及ぼすスキン層の影響", 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会.
5. 山田恵司, 真田俊之, 水嶋祐基, 福永明, 檜山浩國, "PVAブラシの摩擦に及ぼすスキン層の影響", 第80回応用物理学会秋季学術講演会.
6. 伊藤一樹, 澤井冴, 渡部正夫, 小林一道, 藤井宏之, 真田俊之, "混合気体中におけるエタノール液滴と固体壁の衝突", 日本機械学会第97期流体工学部門講演会.
7. 安達隆之介, 渡部正夫, 小林一道, 藤井宏之, 真田俊之, "液滴衝突直後に発生する splash における濡れ性の効果", 日本機械学会第97期流体工学部門講演会.
8. 古谷勇貴, 真田俊之, 水嶋祐基, 渡部正夫, "音波照射による閉端孔からの気体排出過程の観察", 日本機械学会第97期流体工学部門講演会.
9. 楠野宏明, 真田俊之, "鉛直線上で相互作用する2気泡の数値計算", 第33回数値流体力学シンポジウム.
10. 保坂篤紀, 静止及び回転時におけるPVAブラシと表面との相互作用 ~表面近傍におけるブラシの存在割合~, 応用物理学会界面ナノ電子化学研究会第5回ポスター発表展(講演会中止_発表成立).
11. 宮木翼, 回転中ウエハー上のPVAロールブラシ変形観察 ~ブラシ吸排水によるナノ粒子高効率流体洗浄にむけて~, 応用物理学会界面ナノ電子化学研究会第5回ポスター発表展(講演会中止_発表成立).
12. 宮木翼, 水嶋祐基, 真田俊之, 濱田聡美, 福永明, 檜山浩國, "回転ウエハー上のPVAローラーブラシ変形挙動", 第67回応用物理学会春季学術講演会(講演会中止_発表成立).

-その他-
1. 真田俊之, "2気泡間相互作用の実験的検証と数値解析に向けて", 機械学会 RC277分科会.
2. 真田俊之"PVAブラシと表面との真実接触面積および付着力測定法の開発", The 2nd Ebara Open Innovation International Symposium on CMP.
3. 真田俊之, "PVAブラシによるスクラブ洗浄 ‒摩擦力、接触面積および付着力について−". プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 第177回研究会.