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マイクロオプティクスやMEMSなどのマイクロデバイスを製作する方法（マイクロマシニング），マイクロマシンを用いた光計測技術を開発しています．また，機械学習など新しい技術も積極的に取り込んでいます．ミクロンサイズからメートルサイズまでの要素が統合された独自性の高いシステムを開発しています．次に現在遂行中の研究の代表例を示します．

●　大気圧プラズマジェットによるマスクレス微細加工

マイクロサイズに局在化した大気圧プラズマジェットを用いたマイクロ光学素子やMEMSなどのマイクロデバイスの製作方法の研究を行っています．使用する大気圧下で生成されるプラズマは密度が高く高速加工，低温，マスクレスでの加工が実現できます．半導体プロセスでは製作することが難しい微細な形状をテーラーメイドで製作できることを目標にしています．  Microsys. Technol. 29, 1107-1116 (2023).

●　MEMSミラーを用いた生体光計測

MEMSミラーを用いた高輝度・高コントラストのプロジェクタを開発し，空間周波数領域イメージングと呼ばれる拡散光イメージング手法に応用しています． Sens. Actuator A Phys.387, 116421 (2025).

●　機械学習を活用したMEMSの駆動制御

MEMSは運転環境によって大きく駆動特性が変化します．その変化の原因となる運転環境のデータを数多く集め，ニューラルネットワークを通しリアルタイムで駆動特性を補償する研究を行っています． J. Opt. Microsyst. 6(1), 014501(2026).

 

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終了/休止中のテーマ
・走査型プローブ顕微鏡を用いたMEMSの電気・機械特性の高解像度計測
 IEEE Trans. Instrum. Meas. 71, 4501907 (2022).
・大気圧プラズマを用いた金属材料の表面処理
J. Magnes. Alloy. 10(7), 1878-1886 (2022).