• 8月28日(土)と29日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・27日12時~ :クリーンルーム装置利用停止
    ・28日29日   :停電日
    ・30日~31日  :空調保守点検
    ・9月1日~9月3日 :冷却水設備点検
    ・9月1日~3日   :特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月7日12時   :クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月7日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月8日(水)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。


  • On August 28th (Sat) and 29th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・27 From 12 o’clock Device use suspension
    · 28 – 29th: Simultaneous blackout
    · 30 – 31: Air conditioning maintenance inspection
    · sep 1st – Sep 3rd: Cooling water Equipment Inspection
    · Sep 1st – 3rd: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep 7th From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 7.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 8.
    We will inform you again when there is an update of information.