各装置の基本情報はセンターパンフレットをご覧ください。
本ページにはより具体的な情報のみ記載しております。
(総合研究棟・イノベーションセンター)
- 汎用AFM(SPI3800)
- 簡易AFM(VN-8010)
- SPM(JSPM-5200)
- マイクロXRD(M4 TORNADE plus)
- 粉末XRD(RINT2200)
- 多機能XRD(EMPYREAN)
- ICP(Optima2100DV)
- 熱分析(DTG-60A)
- DSC(DSC60Plus)
- 有機元素分析(Flash EA)
- 原子吸光(Solar S4-AA)
- 電気化学測定(Solartron 1280C)
- 蛍光X線(EDX-8000)
- デジタルマイクロスコープ(KH-7700)
- ESCA(ESCA-3400)
- 汎用SEM(S-3000N)
- イオンコータ(SC-701AT)
- イオンミリング(EM RES101)
- ソフトエッチング
- カーボン蒸着機(JEC-560)
- 白金スパッタ(JFC-1600)
- 断面ポリッシャ(IB-09020 CP)
- その場計測FE-SEM(JSM-7001F)
- FE-EPMA(JXA-8530F)
- SEM/EDS(JSM-6360LA/JED-2300)
- XRD(RINT UltimaⅡ)
- NMR(AdvanceⅢ HD400)
- Mass spectroscopy(micrOTOF)
- 形状測定器(VR-3000N)
- 3Dプリンター(Bellulo200)
(ナノデバイス作製評価センター)
- 薄膜XRD(RINT UltimaⅢ)
- 白金・カーボンコーター(SC701C)
- FE-SEM(JSM-6335F)
- 広域AFM(XE-70)
- 分析FE-SEM(JSM-7001F)
- FIB(JIB-4500)
- ラマン(NRS-7100)
- FT-IR(FT/IR-6300, IRT-7000)
- イオンスライサー(EM-09100IS)
- UV-Vis分光光度計(V-670)
- 蛍光分光(FP-8600, FP-8700)
- XPS(AXIS ULTRA DLD)
- STEM(JEM-2100F)
1. 汎用原子間力顕微鏡(総合研究棟102室)
標準的な原子間力顕微鏡です。試料表面のナノ~マイクロメートル程度の高さの凹凸を測定できます。より広い走査範囲が必要な場合は広域AFMや簡易AFMの使用をご検討ください。
諸元
形式・メーカー:SPI-3800, 日立ハイテクノロジーズ(旧セイコーインスツル)
測定モード:コンタクトモード、タッピングモード、ケルビンフォース
走査範囲:X,Y方向ともに最大22um
その他の情報
・カンチレバーは使用者でご用意ください。数本程度ご希望であればセンターで小売もしておりますのでセンター事務室までご相談ください.
・KFMはモードについては、使用実績はほとんどありませんのでご希望の場合、お時間がかかります。
2. 簡易AFM(総合研究棟102室)
表面形状を観察できます。汎用AFMと比較した場合、高さ方向の分解能は若干低めですが、視野が広く取れます。表面粗さ計として使用するなら第一選択肢になります。凹凸が数ミクロンを超える場合ワンショット3D形状測定器の選択もご検討ください。
諸元
形式・メーカー:VN-8010, キーエンス
測定モード:コンタクトモード(注)、タッピングモード
走査範囲:X,Y方向ともに最大200um
その他の情報
・自己検出カンチレバーのソケットの損耗を避けるために2018年の年末からカンチレバーはセンターが負担し、教職員が交換しております。探針の不具合や交換の必要があればユーザー側で交換しないでセンター事務室まで申し出てください。
・メーカーによるサポートは終了しておりますので、動作不良による共用中止の可能性があります。この装置を継続的に使用する実験計画は避けていただいた方が賢明です。
(注)装置仕様上はコンタクトモードによる観察もできますが、コンタクトモード用のカンチレバーが入手不能となっておりますので、実際にはタッピングモードのみ使用できます。
24. FE-EPMA(総合研究棟104室)
概観
その他の情報
組み込まれている分光素子の種類は次の通り
分光素子1 | 分光素子2 | |
1 ch | LIFH | PETH |
2 ch | TAP | LDE1 (軽元素用) |
3 ch | LIF | PET |
4 ch | LIFH | PETH |
5 ch | TAPH | LDE2H (軽元素用) |
詳しくは日本電子のWebページを参照ください。
28. 質量分析計(イノベーションセンター208室)
何ができるか
溶液中に存在する分子等の質量を測定できます。
諸元
型式・メーカー | micrOTOF, ブルカー |
イオン源 | ESI, APCI |
適した質量範囲 | 100-3,000程度(タンパク質や核酸等多価イオンになりやすい化合物なら数万でも可) |
質量精度 | 2 ppm程度 |
機器担当者 | 早川 |
その他の情報
・気相にして測定するため測定対象物が不揮発な試料や沸点の高い試料は測定できません。
・濃すぎても問題が生じますので酸や塩基などは数mM程度(濃くても50mM程度)としてください。
29. ワンショット3D形状測定器(総合研究棟102室)
概観
何ができるか
デジタル顕微鏡並の手軽さで試料の3次元形状が観察できます。用意されている解析ソフトウエアを使用することで測定した結果から高さのラインプロファイルや任意の点間の測長、形状評価、表面粗さ評価ができます。XYステージを動かして得られた視野を結合して広範囲を移した顕微写真も作成できます。
諸元
型式・メーカー | VR-3200, キーエンス |
ステージXYストローク | 184 mm x 88 mm |
ステージZストローク | 90 mm |
ノズル径 | 0.4 mm |
測定精度 | 高さ方向±3 μm, 水平方向 2 μm(高倍率時) |
倍率 | 12~160 倍 |
機器担当者 | 早川 |
30. 3Dプリンタ(総合研究棟102室)
概観
諸元
型式・メーカー | Bellulo200, ㈱システムクリエイト |
方式 | 熱融解積層方式 |
使用できる樹脂 | PLA(白、黒), ABS(白、黒) |
ノズル径 | 0.4 mm |
最大出力サイズ | 180 mm x 180 mm x 180 mm |
対応データ | STL形式 |
機器担当者 | 早川 |
その他
・装置の使用は予約表に入力するのではなく、機器担当者もしくはセンター事務室に直接連絡してください。
・データはUSBメモリーにいれてお持ちください
・センターではSTLファイルを作成するモデリングソフトや、他形式からSTLへ変換するソフトウエアは用意しておりません。必要に応じてユーザー側でご対応ください。
・使用料は使用時間で決めるのではなく、使用した樹脂の重さ100gに対して900円とします。装置が概算した使用量が表示されますので、その量を使用簿に転記してください。使用ごとに1円の桁を四捨五入し、月ごとにまとめて請求します。