これまでの汎用SEM（S-3000N, 日立）のリプレイス機として日立のSU3900を公開しました。タングステンフィラメントを使用している汎用的なSEMですのでFE-SEMほどの分解能は得られませんが、数万倍くらいであれば十分使用できると思われます。下にセンターで試しに観察したZnOの微結晶のSEM像を示します。最近の機種だけあって、作りこまれたGUIやコンピュータによる補助のおかげで容易に使用することができます。
図1. ZnOの微結晶の二次電子像 5万倍で観察
図2. ZnOの微結晶の二次電子像 10万倍で観察
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