センターにはキーエンスのワンショット３D形状測定機(VR-3200)があります。表面の凹凸構造を観察するのによく使われておりますが、機種名にもありますように形状測定にもとても威力を発揮しますのでご紹介いたします。
図１はおもちゃのサーボモーターについてきたホーンをワンショット３D形状測定機を用いて撮影した光学顕微鏡写真です。写真の中に挿入されている寸法は撮影に引き続いてワンショット３D形状測定機の解析ソフトウエアで解析した結果です。任意の２点間の距離、任意の２円の中心間距離、円の直径などが数値化されていることがわかります。並んでいる小さな穴は直径2 mmと小さいのでノギスではうまく数値化しづらいと思いますが、ワンショット３D形状測定であれば簡単な操作で精度よく測定できていると思います。
今回のご紹介では水平面内距離だけですが、高さ方向も条件が良ければ1 umくらいの制度で高さ（深さ）測定もできますので、ご興味がありましたらセンターまでお問い合わせください。
図１. サーボホーンの光学顕微鏡写真（画像をクリックで大きな画像が開きます