Device Fabrication

デバイス作製

イエロークリーンブース

クラス1000設計のフォトリソグラフィ用クリーンブース。イエローカーテンで感光を防止。

※クリーンルームの清浄度(クラス)は、1立法フィート(およそ28 L)あたりに含まれる粒径500 nm以上の粒子数Nで指定されます。クラス1000はN ≤ 1000を意味します。

※フォトリソグラフィの解説は、たとえばこちら(外部リンク)


マスクレス露光装置

写真を印刷するように任意のパターンを露光。最小露光線幅は3 μm。

※静大生の皆さんへ。物理学実験の物性I(輸送現象)では、電極パターンを手で作製します。マスクレス露光装置を用いると、この電極作製を精密かつ微細に行うことができます。たとえば、ホールバー構造を髪の直径(50-100 μm)に収まるように作製することもできます。


多連電子ビーム蒸着装置

蒸着材料を最大5個までセット可能。熱の影響を抑える工夫により、レジストの耐熱温度を十分に下回りつつ高融点材料を成膜可能。


測定顕微鏡

XY2軸寸法測定顕微鏡。測定精度は実測値で3 μm以下。透過明視野観察と落射明視野観察に対応。


ヒュームフード

有害ガスの曝露対策。ガスをフィルタで吸着して清浄な空気を実験室内に循環排気。

Measurement

電気測定

プローブステーション

磁場中の微小電気測定に使用。1 pA(1e-12 A)未満の微小電流も検出可能。磁場強度は最大で0.8 T。


電磁石システム

特注ロッドと組み合わせて微小電気信号を検出。低周波領域であれば交流磁場も印加可能(≤ 10 Hz @ 1 T)。


各種計測機器

ナノボルトメータ、超高感度電流ソース、ソースメジャーユニット、ファンクションジェネレータ、ロックインアンプ、可変バンドパスフィルタ、ネットワークアナライザ

Acknowledgements

謝辞

研究室立ち上げに際し、多くの方々のご支援をいただきました。この場を借りて感謝申し上げます。


全般|山本浩史先生[分子科学研究所(分子研)、前任地のグループ主宰者]より度重なるご支援を賜りました。齊藤英治先生[東北大学(当時。現在は東京大学)、博士課程時の指導教員]より実験室立ち上げの留意点等をご教示頂きました。心より感謝申し上げます。


フォトリソグラフィ環境|仕様選定にあたり、分子研装置開発室および東京大学齊藤研究室から具体的なアドバイスを頂きました。資金面では、JSTさきがけ「トポロジー」領域のご支援を頂きました。誠にありがとうございます。


装置移設|分子研からの装置搬出にあたり、分子研山本グループのご協力を頂きました。資金面では、静岡大学テニュアトラック事業のご支援を頂きました。誠にありがとうございます。


機械設置|重量・大型機器の設置をはじめ、実験室の立ち上げでは2022年度配属学生(奥村さん、平さん、三宅さん)のご協力を頂きました。誠にありがとうございます。


その他|前任地よりお世話になっている遠藤科学様に、多くの備品と消耗品を極めて手際よく手配して頂きました。誠にありがとうございます。