デバイス作製
イエロークリーンブース
クラス1000設計のフォトリソグラフィ用クリーンブース。イエローカーテンで感光を防止。
クリーンルームの清浄度（クラス）は、1立法フィート（およそ28 L）あたりに含まれる粒径500 nm以上の粒子数Nで指定されます。クラス1000はN ≤ 1000を意味します。フォトリソグラフィの解説は、たとえばこちら（外部リンク）。透明カーテンのクリーンブースも併設し、マイクロマニピュレータと簡易マイクロ波テスト台を備えています。そちらは電気測定の前処理に特化しています。
マスクレス露光装置
写真を印刷するように任意のパターンを露光。最小露光線幅は3 μm。
（静大生向け）物理学実験の物性I（輸送現象）では、電極パターンを手で作製します。マスクレス露光装置を用いると、この電極作製を精密かつ微細に行うことができます。たとえば、ホールバー構造を髪の直径（50-100 μm）に収まるように作製することもできます。
多連電子ビーム蒸着装置
蒸着材料を最大5個までセット可能。熱の影響を抑える工夫により、レジストの耐熱温度を十分に下回りつつ高融点材料を成膜可能。
測定顕微鏡
XY2軸寸法測定顕微鏡。測定精度は実測値で3 μm以下。透過明視野観察と落射明視野観察に対応。
ヒュームフード
有害ガスの曝露対策。ガスをフィルタで吸着して清浄な空気を実験室内に循環排気。
電気測定
プローブステーション
磁場中の微小電気測定に使用。1 pA（1e-12 A）未満の微小電流も検出可能。磁場強度は最大で0.8 T。
電磁石システム
特注ロッドと組み合わせて微小電気信号を検出。低周波領域であれば交流磁場も印加可能（≤ 10 Hz @ 1 T）。無冷媒クライオスタットと組み合わせて、全自動低温磁気抵抗測定システムを構築しました。
各種汎用機器
コンパクトマニュアルプローバー、ナノボルトメータ、超高感度電流ソース、2CHおよび8CHソースメジャーユニット、2CHロックインアンプ搭載ソースメジャーユニット、ファンクションジェネレータ、ロックインアンプ、可変バンドパスフィルタ、ネットワークアナライザ、2CHオシロスコープ（ご退職された三重野教授のご厚意で譲渡）、ローノイズ電圧電流変換モジュール、簡易原子間力顕微鏡（'24年度指導学生と一緒に組立）、誘電率測定器、面内2軸ベクトル電磁石（バイポーラ電源付属）、デスクトップ型高真空排気ユニット×2、グローブボックス（分子研山本グループのご厚意で貸出中）
居室
学生用デスク
デスクは横幅120 cmのゆったりサイズ。チェアは可動肘とランバーサポートが付属。
コーヒーメーカー
全自動コーヒーメーカー。いつでも挽きたてのコーヒーを。