東北大学川内キャンパスで開催された2026年度精密工学会秋季大会学術講演会にて本研究室から主著で2件,共著で2件発表しました.
講演題目:Development of Micro-fabrication on Silicon by Dwell Time Controlled Atmospheric Pressure Plasma Jet Etching
講演番号:I92
講演日時:2026年9月17日
著者:Pathum Mathes Hewage, Futoshi Iwata, and Kenta Nakazawa
発表者:Pathum Mathes Hewage(M1, ABP)
講演題目:機械学習による大気圧プラズマジェット微細加工形状推定のためのデータセットの検討
講演番号:I91
講演日時:2026年9月17日
著者:中澤 謙太,西山 峻,岩田 太
発表者:中澤 謙太
