FE-SEMで観察するための講習会がありました。よく見えるものですね。LV（低真空、真空度が低い状態）でも観れるので、生物試料やカーボンなど導電性物質を蒸着していない試料も観察できます。SEI、BEI（組成と標高）、LV用のSEI二次電子線像を観ました。モニターにタッチして指示できるようで、白黒フィルムに取って現像していた頃とは隔世の感ありです。

通常はエアーロック（試料交換室）を使って試料を中にいれますが、写真は、講習会の最後に、もっと大きな試料を入れる際のドアを開けてもらったところです。電子線が出てくるところにくっついているのがBEIの検出器で、当てないようにとのことでした。JEOLの高橋さんには2週間にわたって、設置、調整を経て仕上げていただきました。

次週、EDSとEBSDの検出器が来る予定です。排気はイオンポンプ2台とターボポンプなので、オイルは真空系でつかっていないので、試料室はいつまでもクリーンです。

講習会は12月上旬まで続き、マニュアルの作成などを経て、1月末に一般ユーザへの講習会を行いたいと思っています。