半導体製造設備

（基本的に化合物に特化した研究室管理装置です。この他に研究に用いることのできる共有装置があります）

• • 超純水製造装置
  • 純粋製造装置
  • 酸、アルカリ、有機、水の各専用ドラフト
    • 付随装置（薬品庫、冷凍冷蔵庫、電子天秤、スターラー、ピペット等器具類）
  • レジスト用スピンコーター※
  • コンタクトアライナー※
  • オーブン、ホットプレート※
    • 付随装置（脱臭ドラフト、管理タブレットPCなど）※
  • ロードロック付き両面蒸着装置（レーザー照射機構付）※
  • 三元3インチマグネトロンスパッタ装置（導入調整中）※
  • 電子ビームアニール装置 §
  • 管状炉アニール装置 §
  • マッフル炉
  • 8インチマグネトロンスパッタ装置 §
  • 三元蒸着装置 §
  • グリッド封入蒸着装置 §
  • 高温ホットプレート（大型グローブボックス内）§
  • 小型蒸着装置 §
    • 付随装置（冷却水循環装置、コンプレッサー等）
  • YAG:Ndレーザー※
  • KrFエキシマレーザ※
    • 付随装置（光学定盤、光学系、制御PCなど）※
  • スーパーインクジェットプリンター※
  • ワイヤーボンダー※
  • ダイボンダー※
  • フリップチップボンダー※
  •  ウェハーダイサー（ダイヤモンドブレード型）※
    • 付随装置（小型真空ポンプ、給排水処理装置、制御PCなど）

※印の装置はクラス100クリーンルーム内に設置してあります。§印の装置はクラス1000クリーンルーム内に設置してあります。超高純度エアー、窒素などは建屋からの供給です。研究室内には中野研究室のMOVPE装置も鎮座しております。