第11回　油拡散ポンプの分解

SEMの廃棄のためDP（油拡散ポンプ）を分解して油を抜きました。

【SEMにおけるDPの位置】

　

【DP全体】

 　

【DP内部】

底部で加熱された油が蒸気になり中央部を上昇した後、
傘のような部分にあたって底部に向かって噴射されます。
その際、気体を底部へ押し込みます。

　

【DP分解】

右の3つの部品が傘の部分です。