| 装置名 | 導入年 | 大型整備や保守満了情報 |
| 薄膜XRD | 平成19年３月26日 | 改修 平成21年1月13日 |
| 白金/カーボンコータ | ||
| 広域AFM (XE-70) | 平成22年３月8日 | |
| FE-SEM (JSM-6335F) | ||
| 分析FE-SEM (JSM-7001F) | 平成22年３月26日 | |
| FIB (JIB-4500) | 平成22年３月26日 | |
| ラマン分光器 (NRS-7100) | 平成26年2月24日 | |
| FT-IR | 平成26年2月24日 | |
| イオンスライサー | 平成20年9月24日 | |
| UV-VIS | 平成26年3月31日 | |
| 蛍光分光 | 平成26年2月24日 | |
| XPS | 平成26年3月17日 | 平成30年10月2日 導入部の真空ポンプ更新 |
| STEM (JBM-2100F) | 平成21年2月27日 | 令和2年12月 電子銃交換 |
| 汎用AFM | 平成16年4月1日 | 平成27年3月16日 システム更新 |
| 簡易AFM | 初代)平成16年4月1日
二代目)平成19年3月15日 |
初代はR3年1月に除産 |
| SPM (JSPM-5200) | ||
| 粉末XRD | 平成17年4月28日 | |
| 高機能XRD | 平成17年4月1日 | 平成28年9月5日 |
| 透過電顕 | R3年1月に共用停止
R3年4月以降に撤去 |
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| ICP | ||
| 熱分析装置 | 平成17年3月17日 | |
| DSC | 平成２7年3月20日 | |
| 元素分析 | 平成16年4月1日 | |
| 原子吸光 | 平成16年4月1日 | |
| 電気化学測定器 | 平成23年3月2日 | |
| 蛍光X線 (EDX-8000) | 平成26年3月31日 | |
| デジタル顕微鏡 (KH-7700) | 平成26年3月3日 | |
| ESCA (ESCA-3400) | 平成16年4月1日 | 令和3年2月 チャンネルトロン交換 |
| 汎用SEM (S-3000N) | 平成16年4月1日 | |
| 金スパッタ (SC-701AT) | 平成18年2月23日 | |
| イオンミリング (EM RES-101) | ||
| ソフトエッチング | 平成23年1月19日 | |
| カーボン蒸着器 (JEC-560) | ||
| 白金スパッタ (JFC-1600) | ||
| 断面ポリッシャ | ||
| その場計測FE-SEM(JSM-7001F) | 平成23年2月25日 | |
| FE-EPMA | 平成23年9月22日 | |
| SEM/EDS (10F) | 平成16年4月1日 | |
| XRD (10F) | 平成16年4月1日 | 平成27年9月25日 PC更新 |
| NMR | ||
| 質量分析装置 | ||
| 形状測定器 | 平成28年7月13日 | |
| ３Dプリンタ | 平成31年３月25日 |