電子銃の軸合わせ(20230208)

1 電子銃の飽和点調整、アライメント調整
※ (自動飽和点サーチは通常使用しない)
1-①ーI 「保守」-「電子銃」ウィンドウを開き加熱コードを90にする
1-①ーII 試料(ステージなどがよい)の平坦な部分が中心になるように移動
1-①ーIII 検出器を2次電子にする
1-①-IV 対物絞りは1のまま(通常1です。2、3、4と絞りは小さくなります。高倍率で見る時用です。10kVとかで観ます。しぼりのクリーニングが必要なのは高倍率で像が流れる時だそうですが、、真空がよいためか、昔ほど必要なくなったそうです)

1-② 「観察」を押し、加熱コード90まで加熱します。

1-④ 「軸合わせ」の「Tilt」の「X/Y」で、EMP像が画面の中央になるように合わせる。自動的に観察モードは「EMP」になっている。EMPはエミッションパターン。

1-⑤ フィラメント加熱コードを上げると像が見えてくる。最初はフィラメントの像、次に出口の穴の外径が◯く見え始めます。そのうちやや小さな●になります。(最初、そら豆のようなゆがんだ格好から円になる。円の大きさが変化しないところが飽和点、120-140ぐらい)

※ 120ぐらいにはEMP像が見えはじめる。120ぐらいで見えない場合は、オペレーションパネルのContrast と Brightnessのノブを回して見えるように調整する。押すと色がついて粗動になる。

※ 電子銃バイアス(照射電流Coarseのことか)をできるだけ高くすると、フィラメントの寿命をできるだけ長くできる。

1-⑥ 観察モードを「STD」にする

1-⑧ 「軸合わせ」の「tilt」だったのを「shift」にするためクリックする。自動的にPCDが入り、ファラデーカップで電流値を読める。

1-⑨ーI CL-Coarseを40程度から最大95にする。

1-⑨ーII 「軸合わせ」タブ(オペレーションパネルのコントラスト、ブライトネスを調整するものの左にあるよ)の(Shiftの)「X/Y」を操作してPCDで表示される照射電流を最大にする。このノブは、stigmaを合わす時にはstigmaのX/Yになり、電子銃のShiftを合わす時は電子銃のX/Yになる。

1-⑨ーIII 1-⑨ーIと1-⑨ーIIを繰り返す(約10uAの照射電流が得られる)。最後は、照射電流が減少し始める位置(飽和点より少し下)に合わせる。

1-⑩ CL-Coarseを元の値(40~50)に戻し、PCDボタンを押してファラデーカップを抜く
(ここで「軸合わせ」を「観察条件」等に変えたほうが良い。
「軸合わせ」のまま次の非点調整を行うと、電子銃調整で合わせた個所をずらすことになるので注意する。X/Yのノブを共有しているため)

2 非点補正
2-① 観察する試料を準備する
2-②ーI フォーカス、stigma/alignment (X/Y)の3つのつまみで、非点を調整する
2-②ーII 操作パネルの「WOBB」を押し、対物絞りの位置調整つまみを用いて像が特定の方向に流れないようにする
2-②ーIII 2-②ーIと2-②ーIIを繰り返す

フィラメントは30分くらいで安定するので、30分以上たったら、もう一回飽和点を探すのがおすすめ。