ピーク位置の登録

1 ピーク位置を登録したい元素を多く含みなおかつ鏡面研磨されている試料を用意し、その試料を視野の中心に持ってくる。

2 15kV, 10nA程度の条件にする。(もっと高い値でもよいが、ダメージなどによるピークの減衰は避けるべき)

3 OMモニターを用い、z位置によりピントを合わせる。その後フォーカス(WD値)によりピントを合わせる。
※ ピークサーチはスポット分析となるので、さらにデフォーカスするとよいかも。
ピントが合った状態から、x1000で時計回りに2回転のデフォーカス推奨(WDが-0.2mm程度)

4 上の「周期表」ボタンを押す。

5 下の周期表ウィンドウの右の「サーチ」タブを押し、ピーク位置を登録したい元素を選択。

6 ピーク位置を登録したいチャンネルと分光結晶を選択(1回につき1チャンネル)

7 「ピークサーチ」ボタンを押して、ピークサーチ開始

8 ピークサーチ終了後、ピーク位置を登録したい場合は名前(年月日)を入力して「登録」を押す

 

※ ピーク位置が大きくずれている場合(L値小(100mm)で0.1mm程度、L値大(200mm)で0.2mm程度)

分光器の初期化をしたほうがいいかもしれません。

分光器の初期化はこちら
※ 分光器の初期化は、必ず使用方法に自信のある方がやってください。
またはJEOLに相談したのちに行うようにしてください。