下記の条件で測定したときの低各加速電圧の時のX線スペクトルです
CaとFeのL線について考えてみます
使用機器 FE-SEM (JEOL JSM-IT700HR) ＋ EDX (Oxford instruments Ultim Max 170)
プロセスタイム 4（標準）、6
Std.PC 75
分析試料 ブルーシストの脈中のCpx （化学組成：Na0.1Ca0.4Mg0.7Fe0.6Al0.3Si1.9O6）
5kV, 3kV, 1kVの時の0-10keVのスペクトル
5kV 1.4nA 
3kV 0.6nA
1kV 0.22nA
プロセスタイム4と6の比較（3kV、0.6nA、0-3keVのスペクトル）
※ プロセスタイム4に比べて6のほうがエネルギー分解能が高い（半値幅が小さい）
そのため重なっているピークを分離するのに向いている（はず）。
（一方で6のほうが感度が悪く、長時間かける必要がある）
プロセスタイム４
プロセスタイム６
若干半値幅が小さくなった気もするが、プロセス４で重なっているピークを分離できるようになるということはなさそう
3kV, 1kVの時の0-1keVのスペクトル（プロセスタイム6）
3kV 0.6nA
1kV 0.22nA
・ CのK線（約0.28keV）のピークは十分に強い（1kVは他のピークが弱くなっている分相対的に強くなる）
・ OのK線（約0.53keV）は3kVの時は強いが、1kVの時は弱い
・ FeのL線は（約0.71keV）は3kVの時は観察できいるが、1kVの時は観察が困難
・ CaのL線は（約0.3keV?）はほとんど観察できなかった（CaのL線は弱い？Cのピークと被るから？）