各加速電圧のスペクトル(5-20kV)

下記の条件で測定したときの各加速電圧に対するX線スペクトルです

使用機器    FE-SEM (JEOL JSM-IT700HR) + EDX (Oxford instruments Ultim Max 170)
プロセスタイム 4(標準)
Std.PC     75
分析試料  ブルーシストの脈中のCpx (化学組成:Na0.1Ca0.4Mg0.7Fe0.6Al0.3Si1.9O6

それぞれ上の図は0-10keVのスペクトル(主要元素のK線に着目)で下の図は3-8keV(CaとFeのK線に着目)です

 

20kV 4.7nA 

15kV 3.5nA 

10kV 2.4nA 

8kV 2.0nA

5kV 1.4nA