下記の条件で測定したときの各加速電圧に対するX線スペクトルです
使用機器 FE-SEM (JEOL JSM-IT700HR) + EDX (Oxford instruments Ultim Max 170)
プロセスタイム 4(標準)
Std.PC 75
分析試料 ブルーシストの脈中のCpx (化学組成:Na0.1Ca0.4Mg0.7Fe0.6Al0.3Si1.9O6)
それぞれ上の図は0-10keVのスペクトル(主要元素のK線に着目)で下の図は3-8keV(CaとFeのK線に着目)です
20kV 4.7nA
15kV 3.5nA
10kV 2.4nA
8kV 2.0nA
5kV 1.4nA