１、試料と検出器の準備
１－①　Coとスタンダードを試料代にセットして入れる
１－②　oxford（Aztec）のソフトウェアを立ち上げる
１－③　EDXのディテクターを冷やして、測定位置まで挿入する

２　Coのカウントを登録する
２－①　加速電圧および電流を設定　（15kV, 1nAで設定予定）
２－②　Coにピントをあわせる（WD10mm に設定予定。z値を動かしてピントをあわせる）
２－③　全画面がCoになるようにする（倍率は未定？1000倍から10000倍くらいか？スキャンスピードは最速）
※　標準試料登録の際の手順に合わせて、15kV, 1nA, 倍率25000倍でスキャンスピードは最速
２－④　Aztecのソフトウェアで「EDX」→「最適化」→「キャリブレーション」→「ビーム測定」になっていることを確認
２－⑤　「開始」を押す　（この条件でCoのカウントを登録する）

３　標準試料を登録する（15kV, 1nA,）
３－①　標準試料にピントを合わせる（WD10mm に設定予定。z値を動かしてピントをあわせる）
３－②　スペクトル収集
３－②－I　「EDX」→「アナライザー」→「試料の詳細」でコーティング条件を入力
３－②－II　倍率を25000倍やスキャンスピードを最速にする。
（この時、視野の広さは5.12×3.84mmです）
３－②－III　「EDX」→「アナライザー」→「スペクトル収集」で開始ボタン右の設定ボタンを押し、収集条件を入れる（積算時間60秒でやっています）
３－②－IV　開始ボタンを押し、スペクトルを収集
３－③　標準試料登録
３－③ーI　「EDX」→「最適化」→「標準化」を押す
３－③ーII　右の「スタンダード登録」の「管理」ボタンを押して、スタンダード登録ウィンドウを開き、そのウィンドウの一番下から新しく登録するスタンダードファイルを作成する。
（１つのファイル中は、１つの元素（１種類のX線）につき１つまでしか登録できない）
３－③ーIII　左上の「ブロック」及び「スタンダード」で標準試料のデータを登録（重量など）
３－③ーIV　左下の「スタンダード登録を実行」で登録する元素とX線の種類を選択し、「標準化」を押したのちに、「承諾」を押す。
３－④　次の元素の登録
３－④ーI　３－①、②によりスペクトルを得る。
３－④ーII　「EDX」→「最適化」→「標準化」の「スタンダード登録」で、３－③－IIで作成したスタンダードファイルが選択されていることを確認
３－④ーIII　３－③ーIII、IVにより元素とX線の種類を登録
３－⑤　３－④を繰り返す

４　標準試料を使用して化学組成分析
４－①　分析したい試料の挿入、Aztec及びEDX検出器の立ち上げ
４－②　15kV, 1nAにする。
４－③　「EDX」→「アナライザ」or「ポイント、ID」でスペクトルを収集
※　「アナライザ」で、25000倍、スキャンスピードを最速、収集時間60秒の状態で収集すると標準試料の時と同じ条件になる。
４－④　「EDX」→「元素の確認」で元素を選ぶ
４－⑤　「EDX」→「組成の計算」の「設定」を押し、右上「定量」の「ユーザー」で、３－③－IIで作成したスタンダードファイルを選択し、「適用して実行」
・　岩石（酸化物）の場合は、左上「処理オプション」の「ストイキオメトリ」で「酸素」を選択
・　Feなどで、価数を変化させたい場合は「元素リスト」で元素を選んで価数を変える。