下記の条件で撮影した後方散乱電子像とNa, Mg, Al, Si, K, Ca, Feの元素マッピング像です
LAマッピングの条件
試料 花崗岩の薄片試料(光学顕微鏡でモード測定したことのある試料)
LAの条件 30 x 20mmの範囲、重なりなし、倍率100 (506エリア)
マッピングの条件 解像度128(10umステップ)、フレーム数1、デュエルタイム10000mm
加速電圧 15kV
照射電流 std-pc75(3.6nA)
検出器 プロセスタイム4、(デッドタイムは40-55%)
かかった時間 約36時間
※それぞれは点分析の測定なので、ケイ酸塩鉱物の場合は特性X線の励起領域は5mm程度?
マッピング像
倍率100倍の場合、ビームシフトに関連した元素のムラがでてしまいます
(Alのマッピング像の横方向の縞々などが、それに該当します)
後方散乱電子像
Na
Mg
Al
Si
K
Ca
Fe