加速電圧やPCの値を変えると、ビームのアライメントはズレます。
また、時間経過でもビームのアライメントはズレます。
ここでは、ビームアライメントの調整法を記します。

１　オートで合わせる方法

１－１　倍率を10000倍ぐらいにして、「focus」と「stigma」でピントを合わせる

１－２　左上の「ウォブラ」をクリックする。

１－３　「ウォブラ」で揺れている画面左上の「ABA（オートビームアライメント）」を押す
※　揺れが小さくなっているのを確認。

１－４　左上の「ウォブラ」をクリックし、ウォブラを止める。

 

２　オートを使用してビームアライメントが大きくずれた時の対処法１

２－１　右下の「SRT」を押し、電子系ウィンドウを表示する。

２－２　「ビームアライメント」ボタンを押し、ウィンドウの十字の右下のリセットボタンを押してビームアライメントをリセットする

２－３　「ABC」を押して真っ暗な画像ではない（電子線が試料室に来ている）ことを確認する

２－４　試料台の金属部分など、導電性の高い場所に電子線が当たるようにステージを移動させる

２－５　倍率を40倍ぐらいにして「ABC」を押す
※　端に黒い影があるくらいの時にオートで輝度調整をすることで、コントラストの低い状態で輝度が調整される（オートビームアライメントはコントラスト低めのほうが成功しやすい）

２－６　倍率を2000倍ぐらいにして、「focus」と「stigma」でピントを合わせる

２－７　倍率を2000倍ぐらいで左上の「ウォブラ」をクリックし、画面左上の「ABA」を押す
※　揺れが小さくなっているのを確認。

２－８　左上の「ウォブラ」をクリックし、ウォブラを止める。
※　より詳細に合わせたい場合は、４　マニュアルで調整するを参考にしてください

２－１～２－８を行ってもビームアライメントが大きくずれている場合は
・　LVモードである場合は高真空（HV）にしてから２－１～２－８をやり直す
・　PCを低くして（３５ぐらい）から、２－１～２－８をやり直す
などしてください

 

３　オートを使用してビームアライメントが大きくずれた時の対処法２

３－１　右下の「SRT」を押し、電子系ウィンドウを表示する。

３－２　「ビームアライメント」ボタンを押し、ウィンドウの十字の右下のリセットボタンを押してビームアライメントをリセットする

３－３　「ABC」を押して真っ暗な画像ではない（電子線が試料室に来ている）ことを確認する

３－４　倍率を40倍ぐらいにして「ABC」を押す

３－５　「ビームアライメント」ボタンを押し、ウィンドウの十字のボタンを動かして、画面中央が明るくなるように調整する
※　明るくなりすぎたら適宜「ABC」を押して、明るさ調整する

３－６　なんとなくでよいので、３－５により画面中央が一番明るい状態にする

３－７　倍率を2000倍ぐらいにして、「focus」と「stigma」でピントを合わせる

３－８　左上の「ウォブラ」をクリックし、揺れが少ないことを確認したのちにウォブラを止める
※　より詳細に合わせたい場合は、４　マニュアルで調整するを参考にしてください

 

４　マニュアルでビームアライメントを調整する

４－１　上記の１～３のいずれかの方法で、大雑把にビームアライメントを合わせる

４－２　倍率を10000倍ぐらいにして、「focus」と「stigma」でピントを合わせる

４－３　左上の「ウォブラ」をクリックする。

４－４　右下の「SRT」を押し、電子系ウィンドウを表示する

４－５　「ビームアライメント」ボタンを押す

４－６　「ビームアライメント」のウィンドウの十字を動かし、画像の揺れが最小になるようにする

４－７　左上の「ウォブラ」をクリックし、ウォブラを止める