モンタージュの使用法

「モンタージュ」は広い視野の画像を撮影したいなど、複数枚の画像を張り合わせて像を作成したいときに用います
※ モンタージュ使用中や使用後は「Zero Mag.」が自動的にonになります。
Imageウィンドウの左上のほうを押すとZero Mag.は解除されます。

モンタージュの使用方法

1 上の「ホーム」を押し、「モンタージュ」ボタンを押す
2 「レシピ」「マニュアル」のどちらかを選び、「次へ」をクリック
管理人は「レシピ」をまだ使用したことがないため、以下「マニュアル」を選択した場合を説明します
3 撮影したい画像の信号(BSEなど)を選択して「次へ」をクリック
4 各条件を選択
・ 「倍率」を選択
・ 「撮影条件」を選択(スキャンか積算か選び、速さ・解像度(・積算回数)を選択
・ 重なり補正を入れるかどうか選択
・ (モンタージュウィンドウ内の操作ではない)観察画像を低倍にしてモンタージュする範囲を選択
以上の4つの値を決めて、モンタージュにかかる時間を確認したら「次へ」をクリック
※ 縦30枚、横30枚が上限であり、それを超える条件にはしないようにする
5 「位置補正」や「輝度補正」を入れるか選択してクリック
※ 重なりがない場合は位置補正は不要
※ 撮影モンタージュにかかる時間が長くない場合は「輝度補正」は不要
6 再生ボタンを押す
7 終了

 

モンタージュの画像の取り扱い

モンタージュ画像を編集する
1 右下の「データ管理」を押す(するとデータ一覧が表示される)
2 中段左のウィンドウで、サンプル名を選択する。
※ モンタージュをとった直後の場合は、そのモンタージュをとったサンプル名が選択されている
3 「GRP_???」(モンタージュのフォルダ)左の「+」ボタンをクリック
4 「Mon_???」ファイルを右クリックし、「モンタージュ像を編集」を選択
5 位置などを編集する。(自動位置補正などを用いるとよい)
6 「すべて保存」を選択

モンタージュ画像を保存する
1 FE-SEM用のウィンドウの右のほうにあるモンタージュ画像上で右クリック
2 保存を選択する
(または下の「以前とったモンタージュ画像を保存する」の操作でもよい)

以前とったモンタージュ画像を保存する
1 該当するモンタージュを取った時のユーザーでログインする
2 右下の「データ管理」を押す(するとデータ一覧が表示される)
3 中段左のウィンドウで、サンプル名を選択する。
※ サンプル名は以前使用した際のFE-SEM開始時につけたものです。
4 「GRP_???」(モンタージュのフォルダ)左の「+」ボタンをクリック
5 「Mon_???」ファイルを右クリックし、「他のファイル形式で保存」を選択
6 保存先、ファイル形式を選択して保存する

モンタージュで撮影した個々の画像を別々のファイルとして保存する
1 右下の「データ管理」を押す(するとデータ一覧が表示される)
3 中段左のウィンドウで、サンプル名を選択する。
4 「GRP_???」(モンタージュのフォルダ)左の「+」ボタンをクリック
5 「BED_???」(または「SED_???」)フォルダを右クリックし、「他のファイル形式で保存」を選択
6 保存先、ファイル形式を選択して保存する

※ 合計サイズはモンタージュ画像よりも大きいため、jpegなど軽い形式を推奨

 

モンタージュ画像を軽量化する
※ モンタージュの画像ファイルは大きい容量であり、個人用のPCでは扱いにくい場合があります
もしその点で困っている場合はモンタージュの画像ファイルの容量を小さくしてから持ち帰ると便利です
1 FE-SEMのPCに保存したモンタージュ画像を選択し、「右クリック」から「フォト」で開く
2 画像の上で右クリックして、「サイズを変更」を選択
3 画像を使いやすい容量にする(「L 表示に最適」が使いやすいと思います)

※ tiff形式だと、失敗するようです。tiff以外の形式にするか、「印刷」からPDF形式で印刷するとよい

WD、倍率、その他条件ごとのモンタージュの画像の比較と考察

高真空(HV)の場合
こちらを参考にしてください

低真空(LV)の場合
こちらを参考にしてください

おすすめの使い方(薄片観察の時)

薄片全体についてあまり把握できていない時は、

WD35mm 20倍 スキャンスピード0.15秒 積算2回 画像重なりなし(HVの時

の条件で全体像を撮影しておくと便利です。

 

時間かけてモンタージュする場合も、まずは上記条件で全体像を撮影しておくとスムーズかと思います。
(光学系で最初に撮影した像と、電子像の間には若干のずれがあるため)