機能性ナノセラミックスの創製
脇谷・坂元研究室（電子物質科学コース)
～機能性セラミックスのナノエンジニアリング・グリーンプロセッシング～
研究内容
私たちの研究室では、最先端のプロセス（PLD法、スパッタ法等）でセラミックナノ粒子やナノ薄膜を作製し、その構造（ナノ構造・結晶構造・バンド構造等）を制御することで新しい機能を発現させることを目的としています。また、作製法そのものにも焦点を当てて、従来法よりも低エネルギー・省プロセスでの材料合成（グリーンプロセッシング）にも取り組んでいます。現在進行中のテーマの概要を以下に記します。
◆ナノ構造を制御した薄膜の作製と応用に関する研究
・成膜時の磁場印加による自発的な相分離とその応用
・フェイズ・フィールド法による薄膜における自発的な相分離機構の解明
・薄膜VOCセンサーの作製
・ナノシートをテンプレートに用いたセラミックス薄膜の作製
◆電池に関する研究
・貫通型ポーラスシリコンを基板に用いた薄膜SOFCの作製
・全固体リチウムイオン電池用固体電解質の単結晶およびエピタキシャル成長薄膜の作製
・鉛蓄電池の高性能化に関する研究
◆微構造解析手法の開発に関する研究
・STEMモアレを用いた薄膜配向性の評価
・AFMを用いた薄膜断面の微構造と電気特性の評価
◆新物質合成、新規合成法開発に関する研究
・成膜時の磁場印加による窒化物および酸窒化物薄膜の作製
・固体窒化源を用いた窒化物合成手法の開発
・新規準安定酸化物相のエピタキシャル薄膜の作製
上記以外の研究テーマもありますが、様々な興味深い研究を進めています。
学部生などへのメッセージ
本研究室は、脇谷教授・坂元准教授・川口助教が協力して運営しています。
上記のこれらの研究内容は一見とても異なっているように見えますが、必要な基礎知識・要素技術は非常に近いためです。実際に教員だけでなく、在籍する学生たちは研究テーマに関わらず教え合ったり協力したりしながら、研究を進めています。このような環境は研究生活だけでなく社会に出た場合にも大いに役に立つでしょう。
ぜひ私たちと一緒に興味の尽きない研究を行いませんか？
所属学会
日本セラミックス協会、応用物理学会、MRS、粉体工学会、日本磁気学会
大学院生の就職先
セラミックス関連、電子部品、半導体メーカー
スタッフ
教授 脇谷 尚樹（わきや なおき）
准教授 坂元 尚紀（さかもと なおのり）
助教 川口 昂彦（かわぐち たかひこ）
名誉教授 鈴木 久男（すずき ひさお）
連絡先
（脇谷）053-478-1153 (FAX兼), wakiya.naoki@shizuoka.ac.jp
（坂元）053-478-1152（FAX兼), sakamoto.naonori@shizuoka.ac.jp
（川口）053-478-1161（FAX兼), kawaguchi.takahiko@shizuoka.ac.jp
（鈴木）053-478-1157 (FAX兼), suzuki.hisao@shizuoka.ac.jp
部屋番号
工学部3号館 315（脇谷居室）, 153-2（坂元居室）
318, 321, 329, 227（川口居室、学生居室、実験室）