研究内容・成果
ナノ構造材料に対する熱電特性評価技術の確立
【研究目的】顕微鏡技術を用いてナノメートルサイズの材料に対する熱電変換特性（温度，熱起電力，電気伝導度，熱伝導度）を精度よく評価するための技術を確立する．
KFMによるゼーベック係数測定法の確立
図１に示すような表面電位顕微鏡（ＫＦＭ：ケルビンプローブフォース顕微鏡）を用いたシステムにより，温度差を与えたシリコン基板の表面電位を測定し，ゼーベック係数を評価した．
図１：KFM（表面電位顕微鏡）を用いたゼーベック係数測定装置の概略図．
その結果，従来の測定方法で得られた値とほぼ一致することを見出した（図２）．本手法を用いることにより，ナノメートルサイズの試料のゼーベック係数を非接触で測定することが可能となる．
図２：表面電位の温度差依存性．図中のゼーベック係数は，高温領域ならびに低温領域のグラフの傾きの差から求めた値．
図１：KFM（表面電位顕微鏡）を用いたゼーベック係数測定装置の概略図．
図２：表面電位の温度差依存性．図中のゼーベック係数は，高温領域ならびに低温領域のグラフの傾きの差から求めた値．
【関連論文】
IEICE Trans. Electron., E101-C, in press.
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