（加速電圧15kV、照射電流約10nA、WD約11.1mmで観察していることを前提としています）

 

１　分析点の選択
測定したい点を視野の中心に持ってくる。このとき約5umの範囲に、測定値が悪くなりそうな要因がないことを確認。
・　きれいな平面であり、測定したい試料以外のものがない状態。x2000ぐらいで確認するとよい。
・　分析点決定後はファラデーカップを挿入して、試料を電子線のダメージから守るのが良い

 

２　定量条件１　定量元素の選択
２－Aか２－Bのどちらかを行う

２－A　（手動で定量分析条件を入力する場合）
２ーA１　「定量」ボタンを押し、「保存パス」と「プロジェクト名」を入力する。
（保存パスとプロジェクト名は自由に入力してもよいが、適当だと後でデータを管理するときに混乱する）
２ーA２　「定量分析条件」の「詳細」をクリックし、
・　「測定物質」を「酸化物」にする。
・　「ピークサーチの実行」の「実施しない」選択を推奨。
２ーA３　「分析元素条件」で分析したい元素を選ぶ
２ーA４　「分析元素条件」の「詳細」をクリックし、
・　選択した元素を各チャンネルに割り振る
・　「標準試料」の「・・・」ボタンを押し、標準試料を選択する。
（右の「読み込み」をクリックして、選択したチャンネルでCpsが十分大きいかを確認するとよい）
※　２－４Aが適切であるのかが、定量値に大きく影響します

２－B（登録されている分析条件を使用する場合、２－A2、A3、A4が省略できます）
２－B１　「クイック」を押し、分析条件を選択する。
「分析元素条件」の「詳細」からチャンネル、標準試料の選択が適切であるか確認するとよい）
２ーB２　「保存パス」と「プロジェクト名」を入力する。
（保存パスとプロジェクト名は自由に入力してもよいが、適当だと後でデータを管理するときに混乱する）

３　分析位置条件の登録
「分析位置条件」の「詳細」をクリックし、
・　「スキャンモード」を「円」で5umに設定
・　OMモニターを用い、z位置によりピントを合わせる　→　フォーカス（WD値）によりピントを合わせる
・　「現在位置の読み込み」ボタンを押して現在のx, y, zを読みこんだ後に「適用」を押して、位置分析条件を登録

４　照射電流値の読み込み
ファラデーカップを挿入し、SEM像下の電流値をクリック
→　「10nA」ボタンを押す。
→　照射電流値が10nAになったら（ウインドウがアクティブになったら）、「電子光学条件」の「読み込み」ボタンを押す。

５　分析開始
左上のほうにある「分析開始」ボタンを押す

※　詳しくは紙媒体の説明書に丁寧に説明されています。

 

定量値が悪いと思ったら

・　高さ（OMのピント）、傾きなどが適切であることを確認してください。

・　ある程度の重量を持つのに、選択していない元素があるかもしれません。
定性分析により、含まれる元素の確認をするとよいかもしれません。
（「クイック」の登録の中に、定性分析条件を登録したもの（約10分の分析）があるので試してみて下さい）

・　使用した標準試料、チャンネルのnet cpsが小さくないか確認してください。
（使用した標準試料、チャンネルのnet cpsが小さいと、少しの誤差が大きく反映されます）

・　元素のピーク位置を確認してみてください。（参考　ピーク位置の登録）

・　標準試料を選ぶときに、分析試料のZAFの値が１に近くなるような選び方を検討してみてください。

・　SiO2などの鉱物が含まれている場合は、標準試料の「Quartz」を用いてSiO2を測定し、標準試料と分析試料の比較をしてみてください。