標準試料が用意されていることを前提としています。
（含まれる全元素の重量%濃度が分かっており、なおかつ鏡面研磨されている試料）

０　ピークサーチ
※　標準試料として登録したい元素のピーク位置（L値、mm）を登録します。（参考　ピーク位置の登録）

 

１　分析点の選択
標準試料として登録したい分析点を視野の中心に持ってくる。このとき約5umの範囲に、測定値が悪くなりそうな要因がないとよい。
・　きれいな平面であり、測定したい試料以外のものがない状態。x2000ぐらいで確認するとよい。
・　分析点決定後はファラデーカップを挿入して、試料を電子線のダメージから守るのが良い

 

２　保存パスの選択
上の「標準試料」ボタンを押し、「保存パス」（日時？）と「プロジェクト名」（試料名？鉱物名？）を入力する。

 

３　標準試料の分析条件登録
「標準試料分析条件」の「詳細」をクリックする。
３－１　スタンダードの「・・・」ボタンを押し、標準試料情報を入力
A　標準試料の重量%などの情報が登録されている場合は、該当する標準試料情報を選択し、各元素の重量%が正しいことを確認。
B　標準試料の重量%などの情報が登録されていない場合は、「酸化物」または「金属」を選択し、含まれる全元素の重量%濃度を入力する。
（酸化物以外（例えば、CaFやNaClなど）はすべて、「金属」を選択して登録）

３－２　「ピークサーチの実行」を「実施しない」を選択（管理人のやり方）
※　大きく影響することはないと思いますが、「ピークサーチ」を「実行する」にすると、ピークサーチ中のダメージを含んだ分析点で標準試料登録を行うことになります。そのためあらかじめピークサーチをしておき、ピークサーチに使用した分析点と、標準試料登録に用いた分析点を分けるようにしました。

３－３　「詳細」をクリックし、「標準試料分析条件」ウィンドウを小さくする。

 

４　登録する元素の選択
「分析元素条件」で分析したい元素を選択し、各チャンネルに割り振る
・　この機器におけるチャンネルと元素に関することは
こちら（工事中）を参考。

 

５　分析位置条件の登録
「分析位置条件」の「詳細」をクリックし、
５－１　「スキャンモード」を「円」で5umに設定
５－２　OMモニターを用い、z位置によりピントを合わせる　→　フォーカス（WD値）によりピントを合わせる
５－３　「現在位置」ボタンを押して現在のx, y, zを読みこむ。
５－４　（複数点の平均値を標準試料登録するとき）
「積算回数」右の「・・・」ボタンを押し、２点目、３点目・・・のx, y, zを登録
・　離れた場所を登録するほど良い？
・　「積算回数」の数字が登録した点数と同じになる（例えば３点登録の場合は「３」）
５－５　「適用」を押して、プローブ径と積算回数が正しいことを確認
５－６　「詳細」をクリックし、「分析位置条件」ウィンドウを小さくする。

 

６　照射電流値の読み込み
ファラデーカップを挿入し、SEM像下の電流値をクリック
→　「10nA」ボタンを押す。
→　照射電流値が10nAになったら（ウインドウがアクティブになったら）、「電子光学条件」の「読み込み」ボタンを押す。

 

７　分析開始
左上のほうにある「分析開始」ボタンを押す

 

※　詳しくは紙媒体の説明書に丁寧に説明されています。