WDXは分光結晶による回折を利用して、特性X線の種類を同定したりその強度を検出したりします。

ここでは、ディオプサイド（CaMgSi2O6）を用いて
・　WDXではどのようにピークが見えるのか？
・　EDXのスペクトルとどのような関係にあるのか？
などを紹介していきます。

試料、分光結晶、検出器の関係やWDXの横軸（L値）についてはこちらを参考にしてください

 

WDXのスペクトル

以下の条件の時のCh1～４のX線スペクトルを示します。
・　分析試料　ディオプサイド（CaMgSi2O6）
・　加速電圧　15kV～3kV
・　照射電流　50nA

ちなみにCh3とCh4のL値についてですが、Ch1やCh2と対応するように（同じ特性X線が同じLの値になるように）しているようです。
※　Ch3とCh4は、上図のL’に1.4をかけた値をLとしているのだと思います。

・　各特性X線のラベルの上の数字はエネルギー（keV）
・　色付きの2nd, 3rdとされたラベルは、それぞれ n =2, n =3 の時のピーク（それ以外は n = 1）
・　各分光結晶のスペクトルにおいて、L値が小さいほうが感度が高く（強度が稼ぎやすい）、L値が大きいほうがエネルギー分解能が高い
・　Rの大きいCh1やCh2のほうがエネルギー分解能が高く、Rの小さいCh3やCh4のほうが感度が高い（強度が稼ぎやすい）

 

L値とkeV

L(mm)とE(keV)は下記の式のように反比例の関係です（Lが大きいほどkeVは小さい）

LE = 1.24nR/d　・・・　⑤

（この式についてはこちらを参考にしてください）

横軸をEとして、Ch1からCh4までのスペクトルを並べたものが、下図です。

また、それぞれのチャンネルと分光結晶で測定できるエネルギー領域もしめします。

 

WDXとEDXの比較

横軸をエネルギーとして、WDXスペクトルとEDXスペクトルを並べたのが下図になります。

・　本学の機器でWDXとEDXを比較したとき、WDXのほうがエネルギー分解能が高い
・　WDXにはEDXにはないピーク（n = 2, 3）が検出されることがある。
・　EDXにもWDXにはないピーク（DTが大きいときのsumピークなど）が検出されることがある。