検査用装置

◆名称：走査電子顕微鏡
◆型番：JSM-7600F
◆メーカー：JEOL（製品紹介ページ）
◆用途：高分解能観察
◆スペック：
二次電子分解能…1.0nm（15kV）、1.5nm（1kV）
倍率…×25~×1,000,000（画像サイズ120nm×90nmにて）
加速電圧…0.1kV~30kV
プローブ電流…1pA~200nA
検出器…上方検出器、下方検出器
試料交換室…ワンアクション交換機能組込み
試料ステージ…ユーセントリック、5軸モータ駆動
　X-Y…70mm×50mm
　傾斜…-5°~+70°
　回転…360°
　作動距離…1.5mm~25mm
◆操作手引き：こちらをクリック（旧版）

◆名称：走査型プローブ顕微鏡システム
◆型番：SPI3800
◆メーカー：SII
◆用途：微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測
◆スペック：
X,Y走査電圧…±200[V]max
サーボ電圧…±200[V]max
スキャン方式…DSPプログラムによるDAコンバータ制御方式
ローテーション…±180°
最大測定データ…1024×1024データ
同時測定…512×512maxデータで同時4チャンネル測定
ソフトウェア…測定機能、データ補正機能、三次元表示機能、データ解析機能、ファイル操作機能
◆操作手引き：

◆名称：半導体/FPD検査顕微鏡
◆型番：MX51
◆メーカー：OLIMPUS（製品紹介ページ）
◆用途：可視光、深紫外光による観察
◆スペック：
（１）光学系…UIS2光学系（無限遠補正）
（２）照準部
　ストローク…32mm
　駆動分解能…微動ハンドル1回転0.1mm
　最大標本高さ…30mm
（３）ステージ
　6×6インチハンドル…158（X）×158（Y）mm
　4×4インチハンドル…100（X）×105（Y）mm
◆操作手引き：こちらをクリック（旧版）

◆名称：デジタルマイクロスコープ
◆型番：DSX500
◆メーカー：OLIMPUS（製品紹介ページ）
◆用途：観察
◆スペック：
ズーム比…13.5（光学ズーム0.26ｘ-3.5x）、30（デジタルズーム使用時）
照準部ストローク…95mm
最小分解能…0.01μm
最大標本高さ…95mm
ステージストローク…100×100mm
◆操作手引き：こちらをクリック（旧版）

◆名称：反射分光膜厚計
◆型番：FE-3000
◆メーカー：大塚電子（製品紹介ページ）
◆用途：光干渉法による膜厚解析
◆スペック：
サンプルサイズ…最大200mm×200mm×7（厚さ）mm
測定可能な層膜の数…5層
膜厚測定範囲…1nm~40μm
分光器…ブレーズドホログラフィック型
膜厚精度…
　1μm未満：NIST認定試料（SiO2/Si）の膜厚保障範囲内
　1μm以上：±0.2%
ステージストローク…X：200mm、Y：250mm、Z：10mm
ステージ駆動分解能…1μm
測定ソフトウェア…マニュアル測定/連続測定/マッピング測定/測定演算同時機能
解析ソフトウェア…非線形最小二乗法/ピークバレー法/FFT解析法/最適化法/基板解析/裏面反射補正/各種nk解析モデル式/絶対反射率/解析結果のフィッティング/屈折率nの波長依存性/消衰係数k/三次元グラフ
◆操作手引き：こちらをクリック（旧版）

◆名称：エリプソメーター
◆型番：DHA-OLXS
◆メーカー：溝尻光学工業所（製品紹介ページ）
◆用途：膜厚、屈折率、吸収係数の非接触測定
◆スペック：
最大試料サイズ…12インチ
入射角…55°~75°（5°刻みで可変）
測定方法…回転検光子法
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◆名称：サーフェイスプロファイラ
◆型番：Alpha-Step IQ
◆メーカー：KLA-Tencor（類似製品紹介ページ）
◆用途：粗さ、うねり、段差の測定
◆スペック：
測定方式…ステージ固定、センサ駆動
走査距離…最大10mm
走査速度…2μm/秒~200μm/秒
サンプリングレート…50、100、200、500、1000ポイント/秒
測定レンジ…±10μm
針圧設定範囲…1mg~100mg
段差測定再現性…測定レンジ±10μmにおいて8Å（1σ）以内
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◆名称：抵抗率測定器
◆型番：K-705RS
◆メーカー：共和理研（製品紹介ページ）
◆用途：半導体材料等の抵抗率を4探針法の原理で測定する
◆スペック：
測定方式…直流４探針法
測定項目…Ω/□、V/I、Ω-cm
測定範囲…
　Ω/□：10μ~5M
　V/I、Ω-cm：1μ~500K
厚み補正…1μm~
F2補正（プローブが境界に直角）…0.1mm~9.9mm
F3補正（プローブが境界に平行）…0.1mm~9.9mm
印加電流…
　Ω/□：453.2mA~453.2nA
　V/I：1000mA~1000nA
　Ω-cm：628.3mA~628.3nA
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