静岡大学電子工学研究所クリーンルーム

Reserch Institute of Electronics Clean Room

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    ウェーハプロセス用 処理装置

    名称 型番 メーカー 用途
    1 電子ビーム描画装置 ELS-7700K ELIONIX 電子ビームによる露光
    2 手動マスクアライナ MJB4 SUSS MicroTec 紫外光による露光
    3 スピンコーター ACT-200DⅡ アクティブ レジスト塗布
    4 スピンコーター(停止中) ACT-300AⅡ アクティブ レジスト塗布
    5 平行平板型RIE装置 RIE-10NR samco ドライエッチング
    6 ICPエッチング装置(停止中) RIE-200iP samco ドライエッチング
    7 半導体用精密拡散炉 ARF3-13A-700W アサヒ理化製作所 熱処理
    8 卓上ランプ加熱装置 MILA-5050 アサヒ理化製作所 熱処理
    9 固体ソースECRプラズマ成膜装置 AFTEX EC-2300 MESアフティ スパッタリング
    10 マグネトロンスパッタ装置 L-250S-FH キヤノンアネルバ スパッタリング
    11 電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701MkⅡADVANCE サンユー電子 スパッタリング
    12 真空蒸着装置(Al専用) VWR-400M/ERH ULVAC アルミ薄膜形成
    13 真空蒸着装置(汎用) VPC-260F ULVAC 金属薄膜形成
    14 電子ビーム蒸着装置 ED-1500 サンバック 金属薄膜形成
    15 手動スクライバー SC-100 ムサシノ電子 ウェハのカット

    組立用装置

    名称 型番 メーカー 用途
    16 マニュアルボールワイヤーボンダー 7700C ハイソル ボールボンディング
    17 マニュアルウェッジワイヤーボンダー 7476D ハイソル ウェッジボンディング

    検査用装置

    名称 型番 メーカー 用途
    18 走査電子顕微鏡 JSM-7600F JEOL 検査
    19 走査型プローブ顕微鏡システム SPI3800 SII 検査
    20 半導体/FPD検査顕微鏡 MX51 OLIMPUS 検査
    21 デジタルマイクロスコープ DSX500 OLIMPUS 検査
    22 反射分光膜厚計 FE-3000 大塚電子 膜厚測定
    23 エリプソメーター DHA-OLXS 溝尻光学工業所 膜厚測定
    24 サーフェイスプロファイラ Alpha-Step IQ KLA-Tencor 表面検査
    25 抵抗率測定器 K-705RS 共和理研 抵抗率測定

    関連装置

    名称 型番 メーカー 用途
    26 超純水製造装置 FP-0500/PRO-0250 オルガノ 超純水の製造
    27 高純度不活性ガス精製装置 SPNP-1100-00030X 大陽日酸 高純度窒素ガスの精製
    28 高純度酸素ガス精製装置 SPOP-1100-00030X 大陽日酸 高純度酸素ガスの精製
    29 ドラフトチャンバー CYV-180VZ ヤマト科学 酸性薬品の操作
    30 ドラフトチャンバー DFV-11SK-78BL1 ダルトン アルカリ性薬品の操作
    31 ドラフトチャンバー RFS150SJ ヤマト科学 有機系薬品の操作
    32 ドラフトチャンバー RFS120SJ ヤマト科学 ホットプレートの操作
    33 マグネチックスターラー付恒温油槽 PS-1000 EYELA 薬品の温度コントロール
    34 電子冷却マイクロサーキュレーター PMC-015A アズワン 薬品の温度コントロール
    35 冷却恒温水槽 NCL-M40 日伸理化 薬品の温度コントロール
    36 クリーンホットプレート MH-180CS/MH-3CS アズワン 加熱、乾燥
    37 セラミックホットプレート CHP-170DF AS ONE 加熱、乾燥
    38 簡易デジタルはかり GTDS-30K GREATTOOL 秤量
    39 電子天びん EL-1200HA 島津製作所 秤量
    40 電子天びん Fx-300i A&D 秤量
    41 超音波洗浄機 ASU-3M AS ONE 洗浄

    配置図


  • Device List

    Wafer Processing Device

    Name Model number Manufacturer Use
    1 Electron Beam Lithography System ELS-7700K ELIONIX Exposure by electron beam
    2 Mask Aligner MJB4 SUSS MicroTec Exposure by ultraviolet light
    3 Spincoater ACT-200DⅡ Active Resist coating
    4 Spincoater(Stop) ACT-300AⅡ Active Resist coating
    5 Parallel Plate RIE System RIE-10NR samco Dry etching
    6 ICP Etching System(Stop) RIE-200iP samco Dry etching
    7 Precision Diffusion Furnace ARF3-13A-700W ASH Heat treatment
    8 Desktop Lamp Annealing MILA-5050 ADVANCE RIKO Heat treatment
    9 Solid Source ECR Plasma Deposition System AFTEX EC-2300 MES Afty Sputtering
    10 Magnetron sputtering L-250S-FH Canon Anerva Sputtering
    11 Sample Producing Device for Electron Microscope SC-701MkⅡADVANCE Sanyu Electron Sputtering
    12 Vacuum Vapor Deposition System (Al only) VWR-400M/ERH ULVAC Formation of aluminum thin film
    13 Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) VPC-260F ULVAC Formation of metal thin film
    14 Electron beam evaporation system ED-1500 SANVAC Formation of metal thin film
    15 Manual Scriber SC-100 MUSASHINO DENSHI Wafer cutting

    Assembly Device

    Name Model number Manufacturer Use
    16 Manual Ball Wire Bonder 7700C HiSOL Ball bonding
    17 Manual Wedge Wire Bonder 7476D HiSOL Wedge bonding

    Inspection Device

    Name Model number Manufacturer Use
    18 Scanning Electron Microscope JSM-7600F JEOL Inspection
    19 Scanning Type Probe Microscope System SPI3800 SII Inspection
    20 Semiconductor & FPD Inspection Microscope MX51 OLIMPUS Inspection
    21 Digital Microscope DSX500 OLIMPUS Inspection
    22 Thickness Monitor FE-3000 Otsuka Electronics Film thickness measurement
    23 Ellipsometer DHA-OLXS Mizojiri Optical Industry Film thickness measurement
    24 Surface Profilometry Alpha-Step IQ KLA-Tencor Surface inspection
    25 Resistivity Measuring Instrument K-705RS Kyowa Riken Resistivity measurement

    Related Device

    Name Model number Manufacturer Use
    26 Ultrapure Water Production System FP-0500/PRO-0250 ORGANO Production of ultrapure water
    27 High purity inert gas purifier SPNP-1100-00030X Taiyo Nippon Sanso Co. Purification of high purity nitrogen gas
    28 High purity oxygen gas purifier SPOP-1100-00030X Taiyo Nippon Sanso co. Purification of high purity oxygen gas
    29 Fume Hood CYV-180VZ Yamato Scientific co. Operation of acidic chemicals
    30 Fume Hood DFV-11SK-78BL1 DALTON Operation of alkaline chemicals
    31 Fume Hood RFS150SJ Yamato Scientific co. Operation of organic chemicals
    32 Fume Hood RFS120SJ Yamato Scientific co. Operation of hot plate
    33 Thermostat with Magnetic Stirrer
    PS-1000 EYELA Temperature control of chemicals
    34 Electronic Cooling Micro Circulator PMC-015A AS ONE Temperature control of chemicals
    35 Cooling Thermostat NCL-M40 NISSIN Temperature control of chemicals
    36 Clean Hot Plate MH-180CS/MH-3CS AS ONE Heating, Drying
    37 Ceramic Hot Plate CHP-170DF AS ONE Heating, Drying
    38 simple digital scale GTDS-30K GREATTOOL Weighing
    39 Electronic Balance EL-1200HA SHIMADZU Weighing
    40 Electronic Balance Fx-300i A&D Weighing
    41 Ultrasonic Washing Machine ASU-3M AS ONE Washing

    Layout Map


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