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装置一覧
ウェーハプロセス用 処理装置
名称 型番 メーカー 用途 1 電子ビーム描画装置 ELS-7700K ELIONIX 電子ビームによる露光 2 手動マスクアライナ MJB4 SUSS MicroTec 紫外光による露光 3 スピンコーター ACT-200DⅡ アクティブ レジスト塗布 4 スピンコーター ACT-300AⅡ アクティブ レジスト塗布 5 平行平板型RIE装置 RIE-10NR samco ドライエッチング 6 ICPエッチング装置(停止中) RIE-200iP samco ドライエッチング 7 半導体用精密拡散炉 ARF3-13A-700W アサヒ理化製作所 熱処理 8 固体ソースECRプラズマ成膜装置 AFTEX EC-2300 MESアフティ スパッタリング 9 電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701MkⅡADVANCE サンユー電子 スパッタリング 10 真空蒸着装置（Al専用） VWR-400M/ERH ULVAC アルミ薄膜形成 11 真空蒸着装置（汎用） VPC-260F ULVAC 金属薄膜形成 組立用装置
名称 型番 メーカー 用途 12 マニュアルボールワイヤーボンダー 7700C ハイソル ボールボンディング 13 マニュアルウェッジワイヤーボンダー 7476D ハイソル ウェッジボンディング 検査用装置
名称 型番 メーカー 用途 14 走査電子顕微鏡 JSM-7600F JEOL 検査 15 走査型プローブ顕微鏡システム SPI3800 SII 検査 16 半導体/FPD検査顕微鏡 MX51 OLIMPUS 検査 17 デジタルマイクロスコープ DSX500 OLIMPUS 検査 18 反射分光膜厚計 FE-3000 大塚電子 膜厚測定 19 エリプソメーター DHA-OLXS 溝尻光学工業所 膜厚測定 20 サーフェイスプロファイラ Alpha-Step IQ KLA-Tencor 表面検査 21 抵抗率測定器 K-705RS 共和理研 抵抗率測定 関連装置
名称 型番 メーカー 用途 22 超純水製造装置 FP-0500/PRO-0250 オルガノ 超純水の製造 23 高純度不活性ガス精製装置 SPNP-1100-00030X 大陽日酸 高純度窒素ガスの精製 24 高純度酸素ガス精製装置 SPOP-1100-00030X 大陽日酸 高純度酸素ガスの精製 25 ドラフトチャンバー CYV-180VZ ヤマト科学 酸性薬品の操作 26 ドラフトチャンバー DFV-11SK-78BL1 ダルトン アルカリ性薬品の操作 27 ドラフトチャンバー RFS150SJ ヤマト科学 有機系薬品の操作 28 ドラフトチャンバー RFS120SJ ヤマト科学 ホットプレートの操作 29 マグネチックスターラー付恒温油槽 PS-1000 EYELA 薬品の温度コントロール 30 電子冷却マイクロサーキュレーター PMC-015A アズワン 薬品の温度コントロール 31 冷却恒温水槽 NCL-M40 日伸理化 薬品の温度コントロール 32 クリーンホットプレート MH-180CS/MH-3CS アズワン 加熱、乾燥 33 シマレックスターリングホットプレート HP131224 Barnsted International 加熱、乾燥 34 電子天びん EL6000S 島津製作所 秤量 35 電子天びん EL-1200HA 島津製作所 秤量 36 電子天びん Fx-300i A&D 秤量 37 超音波洗浄機 ASU-3M AS ONE 洗浄 配置図
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Device List
Wafer Processing Device
Name Model number Manufacturer Use 1 Electron Beam Lithography System ELS-7700K ELIONIX Exposure by electron beam 2 Mask Aligner MJB4 SUSS MicroTec Exposure by ultraviolet light 3 Spincoater ACT-200DⅡ Active Resist coating 4 Spincoater ACT-300AⅡ Active Resist coating 5 Parallel Plate RIE System RIE-10NR samco Dry etching 6 ICP Etching System RIE-200iP samco Dry etching 7 Precision Diffusion Furnace ARF3-13A-700W ASH Heat treatment 8 Solid Source ECR Plasma Deposition System AFTEX EC-2300 MES Afty Sputtering 9 Sample Producing Device for Electron Microscope SC-701MkⅡADVANCE Sanyu Electron Sputtering 10 Vacuum Vapor Deposition System (Al only) VWR-400M/ERH ULVAC Formation of aluminum thin film 11 Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) VPC-260F ULVAC Formation of metal thin film Assembly Device
Name Model number Manufacturer Use 12 Manual Ball Wire Bonder 7700C HiSOL Ball bonding 13 Manual Wedge Wire Bonder 7476D HiSOL Wedge bonding Inspection Device
Name Model number Manufacturer Use 14 Scanning Electron Microscope JSM-7600F JEOL Inspection 15 Scanning Type Probe Microscope System SPI3800 SII Inspection 16 Semiconductor & FPD Inspection Microscope MX51 OLIMPUS Inspection 17 Digital Microscope DSX500 OLIMPUS Inspection 18 Thickness Monitor FE-3000 Otsuka Electronics Film thickness measurement 19 Ellipsometer DHA-OLXS Mizojiri Optical Industry Film thickness measurement 20 Surface Profilometry Alpha-Step IQ KLA-Tencor Surface inspection 21 Resistivity Measuring Instrument K-705RS Kyowa Riken Resistivity measurement Related Device
Name Model number Manufacturer Use 22 Ultrapure Water Production System FP-0500/PRO-0250 ORGANO Production of ultrapure water 23 High purity inert gas purifier SPNP-1100-00030X Taiyo Nippon Sanso Co. Purification of high purity nitrogen gas 24 High purity oxygen gas purifier SPOP-1100-00030X Taiyo Nippon Sanso co. Purification of high purity oxygen gas 25 Fume Hood CYV-180VZ Yamato Scientific co. Operation of acidic chemicals 26 Fume Hood DFV-11SK-78BL1 DALTON Operation of alkaline chemicals 27 Fume Hood RFS150SJ Yamato Scientific co. Operation of organic chemicals 28 Fume Hood RFS120SJ Yamato Scientific co. Operation of hot plate 29 Thermostat with Magnetic Stirrer
PS-1000 EYELA Temperature control of chemicals 30 Electronic Cooling Micro Circulator PMC-015A AS ONE Temperature control of chemicals 31 Cooling Thermostat NCL-M40 NISSIN Temperature control of chemicals 32 Clean Hot Plate MH-180CS/MH-3CS AS ONE Heating, Drying 33 Stirling Hot Plate HP131224 Barnsted International Heating, Drying 34 Electronic Balance EL6000S SHIMADZU Weighing 35 Electronic Balance EL-1200HA SHIMADZU Weighing 36 Electronic Balance Fx-300i A&D Weighing 37 Ultrasonic Washing Machine ASU-3M AS ONE Washing Layout Map
