電子線描画装置利用者へのお知らせ(空調機の停止)

  • 電子線描画装置利用者へのお知らせ

    漏水センサー異常により電子線描画装置用の空調機が作動できないトラブルが発生しています。
    ブースのカーテンは開放のままでお願いします。

    それにより通常±0.1℃単位の温度管理が停止いたします。
    利用の際はご留意いただきますようお願いいたします。

    空調機復旧の見通しは未定となります。

  • Notice to Users of Electron Beam Lithography System

    There is a problem that the air conditioner for the electron beam lithography system cannot be operated due to an abnormal leak sensor.
    Please leave the curtains of the booth open.

    So that the normal temperature control of ±0.1°C will be stopped.
    We ask that you keep this in mind when using the booths.

    The outlook for the restoration of the air conditioning system is yet to be determined.

電子線描画装置使用停止のお知らせ(8/23)

  • 電子線描画装置使用停止のおしらせ

    冷却チラーの交換を行うため、
    電子線描画装置の利用を停止させていただきます。

    停止期間:8月23日(月) 9:00~8月24日(火)12:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Stop using Electron Beam Lithography System for cooling chiller replacement.

    Date :  Monday, Aug 23, 9:00 ~Tuesday, Aug 24 12:00

汎用真空蒸着装置一時利用再開のお知らせ(要事前連絡 8/18追記)

  • 汎用真空蒸着装置一時使用再開のおしらせ

    メインバルブリークの件は引き続きメーカーと対応中ですが、
    操作方法を変更して利用を再開いたします。

    利用を希望される方は必ずクリーンルーム管理室まで連絡をお願いいたします。

    8/17追記:膜厚計が操作できない不具合が発生しています。
         現在メーカーへ対応中です。

    8/18追記:膜厚計の不具合は解消いたしました。
            

  •  Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) preliminary restoration

    We’re still working with the manufacturer on the main valve leak.
    However, we have changed the operation method and will resume use.

    If you wish to use the device, please contact the Clean Room Management Office.

    8/17 P.S. There is a problem with the coating thickness gauge.

クリーンルーム利用停止のお知らせ(8/27-9/7)


  • 8月28日(土)と29日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・27日12時~ :クリーンルーム装置利用停止
    ・28日29日   :停電日
    ・30日~31日  :空調保守点検
    ・9月1日~9月3日 :冷却水設備点検
    ・9月1日~3日   :特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月7日12時   :クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月7日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月8日(水)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。


  • On August 28th (Sat) and 29th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・27 From 12 o’clock Device use suspension
    · 28 – 29th: Simultaneous blackout
    · 30 – 31: Air conditioning maintenance inspection
    · sep 1st – Sep 3rd: Cooling water Equipment Inspection
    · Sep 1st – 3rd: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep 7th From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 7.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 8.
    We will inform you again when there is an update of information.

一部装置使用停止のお知らせ(7/20)

  • 一部装置利用停止のお知らせ

    エアーコンプレッサー機修理作業のため、
    下記の日程で圧縮空気の供給が停止されます。
    そのため圧縮空気を利用する装置は下記の時間利用できません。

    停止期間:7月20日(火)9:00~17:00

  • Stop using some instruments for air compressor construction

    Stop using some instruments for air compressor construction

    Compressed air supply stops for air compressor construction.
    So stop using some instruments.

    Date: Tuesday, July 20, 9:00 ~17:00

電子線描画装置使用再開のお知らせ(6/26 17:00-)

  • 電子線描画装置使用再開のお知らせ

    冷却装置の代替機との交換が終了しました。
    立ち上げた電子銃が安定した明日17:00以降に使用を再開します。

  • Electron Beam Lithography System restoration

    Replacement of the cooling system with an alternative unit has been completed.
    We will resume use after 5:00 p.m. tomorrow, when the electron gun has stabilized.

電子線描画装置使用停止のお知らせ(6/17-)※6/22追記

  • 電子線描画装置使用停止のおしらせ

    トラブル:冷却装置の異常及び真空度の低下

    対応:メーカーに問い合わせ中
    停止期間:未定

    6/22追記:冷却装置の交換作業を検討しております。
         先ずは代替機の用意をメーカーに依頼する予定です。

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Cooling system malfunction and decrease in vacuum
    Stop period: undecided