クリーンルーム利用説明会資料掲載のお知らせ

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  • クリーンルーム利用説明会資料掲載のお知らせ

    6月29日(木)に行われた
    クリーンルーム利用説明会の資料を掲載いたします。

    GUIDEの「クリーンルーム利用説明会資料」をご覧ください。

  • Announcement of Clean Room user briefing session materials

    The materials for the clean room information session for user will be posted.
    Please see down below GUIDE

年末年始におけるクリーンルーム利用停止のお知らせ

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  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月27日(水)12:00~1月5日(金)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(土)12:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Wednesday,Dec 27, 12:00 ~ Friday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Saturday, Jan 6, 12:00

装置予約システム利用制限のお知らせ(10/19)

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  • 装置予約システム利用制限のお知らせ(10/19)

    電研Webサーバー移行作業のため、
    下記の期間は装置予約システムの利用を控えていただくよう
    お願いいたします。

    移行作業期間：10/19(木)16:00-17:00

    ※期間中の予約入力は正常に反映されない可能性があります。

  • Notice of Restriction on Use of Equipment Reservation System (10/19)

    Due to the migration of Denken web server,
    Please refrain from using the equipment reservation system during the following period.

    Migration work period: 10/19 (Thu.) 16:00-17:00

    Please note that reservation entries may not be properly reflected during this period.

夏季休業の建物閉鎖に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ

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  • 夏季休業の建物閉鎖に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ

    8月9日(水)17:30～8月17日(木)7:00まで
    夏季長期休業に合わせてキャンパス内の建物が閉鎖されます。
    それに伴い、下記の日程で光創起棟クリーンルームの利用を停止いたします。

    停止期間：8月9日(水)16:30~8月17日(木)8:00

  • Wednesday, August 9, 5:30 p.m. to Thursday, August 17, 7:00 a.m.
    Campus buildings will be closed for the summer long holiday.
    Accordingly, the use of the clean room will be suspended during the following period.

    Suspension period: August 9 (Wed.) 17:30~August 17 (Thu.) 7:00

薬品安全講習による酸アルカリドラフト利用停止のお知らせ

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  • 薬品安全講習による酸アルカリドラフト利用停止のお知らせ

    薬品等安全講習(教員向け)を実施するため、
    下記の日程で酸、アルカリドラフトの利用を停止させていただきます。

    ・7月24日 (月)　14：30 ~ 15：30
    ・7月25日 (火)　13：00 ~ 14：00　
    ・7月28日 (金)　10：30 ~ 11：30

  • Stop using　Fume Hood(Acid,Alkali)

    To conduct chemical and other safety training,
    The use of acid and alkali drafts will be suspended on the following days.

    ・July 24 (Monday) 14:30 ~ 15:30
    ・July 25,(Tuesday) 13:00 ~ 14:00　
    ・July 28 (Friday) 10:30 ~ 11:30

段差計利用停止のお知らせ(7/14)

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  • 段差計使用停止のおしらせ(7/14)

    段差系のメンテナンス作業を行うため、
    下記の日程で利用を停止いたします。

    停止期間：7/14(金)12:00-18:00

  • Stop using Surface Profilometry(7/14)

    To perform maintenance work on Surface Profilometry,
    The following schedule will be unavailable.

    Stop period: July 14th 12:00-18:00

クリーンルーム利用再開日程変更のお知らせ

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  • 用力設備定期点検が当初の予定よりも早く終了したことに伴い、
    クリーンルーム装置の利用再開日程を下記に変更いたします。

    ・クリーンルーム利用再開
    　7月3日(月)8時～

    ・電子線描画装置
    　7月4日(火)12時～

    ・ECRスパッタ装置、電子ビーム蒸着装置
    　7月3日(月)装置立上げ予定

  • The periodic inspection of the power equipment has been completed earlier than originally scheduled,
    The schedule for the resumption of clean room equipment use has been changed as follows.

    Resumption of clean room equipment use
    　Monday, July 3, from 8:00 a.m.

    Reopening of the lithography equipment
    　Tuesday, July 4, from 12:00 p.m.

    ECR sputtering equipment and electron beam deposition equipment
    　Equipment start-up scheduled for July 3 (Mon.)

段差計利用停止のお知らせ(7/5)※6/30追記_メンテナンス延期

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  • 段差計使用停止のおしらせ(7/5)

    段差系のメンテナンス作業を行うため、
    下記の日程で利用を停止いたします。

    停止期間：7/5(水)9:00-18:00

    6/30追記： メンテナンス作業の日程を延期します
    　　　　　　日程については後日連絡いたします。

  • Stop using Surface Profilometry(7/5)

    To perform maintenance work on Surface Profilometry,
    The following schedule will be unavailable.

    Stop period: July 5th 9:00-18:00