電子描画装置使用停止(7月24日16:00-利用再開)

  • 電子描画装置使用停止のお知らせ

    トラブル:昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため

    対応:電子ビームの再立ち上げを実行
    停止期間:7月24日16:00まで

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.

    Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
    Stop period: 7/23 ~16:00.

走査電子顕微鏡(SEM)使用停止(7月23日利用再開)

  • 走査電子顕微鏡(SEM)使用停止のお知らせ

    トラブル:試料ステージエラーにより観察が行えない。

    対応:メーカへ点検作業を依頼
    停止期間:7月23日再開予定

    追記:7月23日使用再開しました。

  • Stop using SEM(7/23 Resume use) 

    Troubling:Observation can not be performed due to sample stage error.

    Corresponding: Ask the manufacturer to inspection work.
    Stop period: It’s being investigated.

【Disabled Device】8/24~25停電、CRメンテナンス8/23~9/3について


  • 8月24日(土)と25日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・23日(金)12時:クリーンルーム装置利用停止
    ・24~25日:停電日
    ・26~27日:空調保守点検
    ・28~30日:特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月3日(火)12時:クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月3日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月5日(木)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。


  • On August 24th (Sat) and 25th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・23 From 12 o’clock Device use suspension
    · 24 – 25th: Simultaneous blackout
    · 26 – 27th: Air conditioning maintenance inspection
    · 28 – 30th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・September 3 From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 3.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 5.
    We will inform you again when there is an update of information.

電気炉A使用停止(8月2日修理作業)

  • 電気炉A使用停止のお知らせ

    トラブル:電磁弁の不具合により窒素が流れない。

    対応:メーカへ部品交換を依頼
    停止期間:8月2日部品交換作業

  • Stop using Precision Diffusion Furnace A

    Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure .

    Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
    Stop period: It’s being investigated.

クリーンルームは、3/27 13:30~16:30、利用出来ません。 A clean room can’t be used the following date and time. March 27 Wednesday 13:30 – 14:30

  • クリーンルームは、以下の日時に利用出来ません。

    期日 :2019年3月27日(水)13:30 ~ 14:30
    理由 :漏水検知器設置工事

  • A clean room can’t be used the following date and time.

    A fixed date :  March 27 Wednesday 13:30 – 14:30 in 2019
    The purpose  :  For a water leaking detector and installation.

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり)

  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 (3/20(水)復旧 追記あり)

    トラブル:デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
    原因:DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
    対応:メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間:調査中

    3/20(水)

    復旧終了しました

    操作方法は使用停止前と同じになります。

  • Stop using  Digital Microscope (DSX500)  (3/13(wed) provisional recovery  add postscript)

    Troubling:It can’t be microscopic observation.

    Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.

    3/13(wed) Postscript

    Provisional recovery finished.

    Please note that there is a change in the operation method.

電子描画装置メンテナンス(2019/3/4~2019/3/15)

  • 電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

    期日 :2019年3月4日(月)~ 3月15日(金)

    目的 :電子銃の交換

    レーザー干渉計の交換

  • Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

    A fixed date :  Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

    The purpose :  Exchange of an electron gun
    Exchange of a laser interferometer

超純水装置利用を再開しました Use of ultra pure water equipment was resumed.


  • 超純水装置利用を再開しました

    事象:1月22日(火)10時~15時の期間、利用出来ませんでした
    トラブル内容:純水装置の圧力センサー異常
    解決方法:圧力センサー交換


  • Use of ultra pure water equipment was resumed

    A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
    The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
    Solution method: Pressure sensor exchange