クリーンルーム利用説明会資料掲載のお知らせ

  • クリーンルーム利用説明会資料掲載のお知らせ

    6月29日(木)に行われた
    クリーンルーム利用説明会の資料を掲載いたします。

    GUIDEの「クリーンルーム利用説明会資料」をご覧ください。

  • Announcement of Clean Room user briefing session materials

    The materials for the clean room information session for user will be posted.
    Please see down below GUIDE

令和7年度電研クリーンルーム利用説明会開催のお知らせ(4/24(木)15:00-)

  • 令和7年度電研クリーンルーム利用説明会開催のお知らせ(4/24(木)15:00-)

    下記の日程で電研クリーンルーム利用説明会を開催します。

    ■日時:4月24日(木)15:00~16:00

    ■場所:浜松キャンパス 共通講義棟2階共21教室
        
    ■内容:
    1.安全上の注意点について
     2.電研CRの紹介
     3.使用上のルール
     4.装置について
     5.薬品について
     6.非常時の対応について
     7.質疑応答

         

  • Information on the briefing session on the use of RIE clean room (Thu 24 Apr, 15:00-)

    Date: Thursday, 24 April, 15:00-16:00

    Place: Room 21, Lecture Building, Hamamatsu Campus
        
    Contents:
    1.Safety precautions
     2.Introduction to RIE CR
     3.Rules for use
     4.Equipment
     5.About RIE CR chemicals
     6.Emergency measures
     7.Question and answer session

【日程変更】超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/27(木))

  • 【日程変更】超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/27)

    超純水製造装置のメンテナンス作業を行うため、
    下記の日程で超純水の利用を停止いたします。
    (追記:3/19(水)日程が変更になりました。)

    停止期間:3月27日(木)9:00-18:00

         

  • Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(3/27)

    To carry out maintenance work on pure water production equipment,
    the use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.
    (PS:(3/19) The dates have been changed.)

    Date: Thursday, March 27 9:00-18:00

マスクアライナ利用停止のお知らせ(3/19(水))

  • マスクアライナ利用停止のおしらせ(3/19)

    マスクアライナシャッターアセンブリ交換作業のため、
    下記の日時でマスクアライナの利用を停止いたします。

    停止期間:3月19日(水)13:00-18:00

  • Stop using Mask Aligner(3/19)

    Due to maintenance work, the mask aligner will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Wednesday, March 19 13:00-18:00

超純水精製装置利用停止のお知らせ(2/19-2/20)

  • 超純水精製装置利用停止のお知らせ(2/19-2/20)

    純水製造装置の装置更新作業を行うため、
    下記の日程で超純水の利用を停止いたします。

    停止期間:2月19日(水)-2月20日(木)

    ※作業終了次第利用を再開いたします
         

  • Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(2/19-2/20)

    To upgrade pure water production equipment,
    The use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.

    Date: Wednesday, Feb 19 – Thursday, Feb 20

    *We will resume use as soon as the work is completed.

電子線描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00- 12/25)

  • 電子描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00~ 12/25)

    レーザーヘッド(XY測長用)交換作業を実施するため、
    下記の日時で電子線描画装置の利用を停止いたします。

    停止期間:12月24日(火)11:00-10月25日(水)

  • Stop using Electron Beam Lithography System(12/24 11:00- 12/25)

    Due to maintenance work, Electron Beam Lithography System will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Tuesday, December 24 11:00~ Wednesday, December 25

年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ(12/26(木)9:00-1/7(火)9:00)

  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間:12月26日(木)9:00~1月7日(火)9:00

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Thursday,Dec 26, 9:00 ~ Tuesday, Jan 7, 9:00

走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のお知らせ(12/2(月)13:00-19:00)

  • 走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のおしらせ(10/22-10/24)

    高電圧印加用マイクロスイッチ修理のため、
    下記の日時で走査型顕微鏡(SEM)の利用を停止いたします。

    停止期間:12月2日(月)13:00-19:00

  • Stop using Scanning Electron Microscope(12/2)

    Due to maintenance work, the Scanning Electron Microscope will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Monday, December 2 13:00-19:00

マスクアライナ利用停止のお知らせ(10/22(火)-10/24(木))

  • マスクアライナ利用停止のおしらせ(10/22-10/24)

    マスクアライナZ軸メンテナンス作業のため、
    下記の日時でマスクアライナの利用を停止いたします。

    停止期間:10月22日(火)-10月24(木)
    ※作業内容によって利用再開が早まる場合があります。

  • Stop using Mask Aligner(10/22-10/24)

    Due to maintenance work, the mask aligner will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Tuesday, October 22~ Thursday, October 24

電子線描画装置利用再開のお知らせ

  • 電子線描画装置利用再開のおしらせ

    電子線描画装置の復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    大変長らくお待たせしてしまい申し訳ございません。
    どうぞご了承いただけますようお願い申し上げます。

  • electron Beam Lithography System restoration

    The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
    Use of the system will be resumed.

夏季一斉休業に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/9(金)12:00-8/19(月)12:00)

  • 夏季一斉休業に伴い、光創起棟クリーンルーム空調が停止されます。
    つきましては下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    【停止期間】
    ・8月9日(金)12時~8月19日(月)12時
     

  • Clean room air-conditioning will be stopped due to the summer holiday.
    Therefore, the clean room will be closed during the following period.

    Period of shutdown
    August 9 (Fri.) 12:00 – August 19 (Mon.) 12:00