クリーンルームは、3/27 13:30~16:30、利用出来ません。 A clean room can’t be used the following date and time. March 27 Wednesday 13:30 – 14:30

  • クリーンルームは、以下の日時に利用出来ません。

    期日 :2019年3月27日(水)13:30 ~ 14:30
    理由 :漏水検知器設置工事

  • A clean room can’t be used the following date and time.

    A fixed date :  March 27 Wednesday 13:30 – 14:30 in 2019
    The purpose  :  For a water leaking detector and installation.

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり)

  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 (3/20(水)復旧 追記あり)

    トラブル:デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
    原因:DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
    対応:メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間:調査中

    3/20(水)

    復旧終了しました

    操作方法は使用停止前と同じになります。

  • Stop using  Digital Microscope (DSX500)  (3/13(wed) provisional recovery  add postscript)

    Troubling:It can’t be microscopic observation.

    Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.

    3/13(wed) Postscript

    Provisional recovery finished.

    Please note that there is a change in the operation method.

電子描画装置メンテナンス(2019/3/4~2019/3/15)

  • 電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

    期日 :2019年3月4日(月)~ 3月15日(金)

    目的 :電子銃の交換

    レーザー干渉計の交換

  • Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

    A fixed date :  Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

    The purpose :  Exchange of an electron gun
    Exchange of a laser interferometer

超純水装置利用を再開しました Use of ultra pure water equipment was resumed.


  • 超純水装置利用を再開しました

    事象:1月22日(火)10時~15時の期間、利用出来ませんでした
    トラブル内容:純水装置の圧力センサー異常
    解決方法:圧力センサー交換


  • Use of ultra pure water equipment was resumed

    A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
    The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
    Solution method: Pressure sensor exchange

エリプソ故障 復帰しました1/22 During a ellipsometer breakdown Use was resumed

  • エリプソ故障中  1/22(利用再開しました)

    トラブル:エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
    原因:ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
    対応:メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間:調査中 → 1月22日 利用再開

  • During a ellipsometer breakdown 2019/01/22(Use was resumed)

    Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
    Cause: For an error to occur at the time of a software start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.  2019/01/22(Use was resumed)

CR装置の管理者予約制限のお知らせ


  • CR装置の管理者予約制限のお知らせ

    1 装置予約は、CR予約システムでの、各研究室の予約時間割り当て(24時間/7日間)を優先

    2 CR管理室での予約は、各研究室の予約時間限度(24時間)を超えてから
    ・1回目:当日から6日間以内、予約時間24時間まで(各研究室合計:48時間まで)
    ・2回目:当日から5日間以内、予約時間24時間まで(各研究室合計:72時間まで)
    ・3回目:当日から4日間以内、予約時間24時間まで(各研究室合計:96時間まで)


  • News of administrator reservation restriction of CR equipment

    1 Equipment reservation gives priority to the reserved time allocation in each laboratory by a CR reservation system (24 hours/7 days).

    2 CR management office reservation is the reserved time limit of each laboratory (24 hours).
    * The 1st time: From the day to within 6 days and the reserved time for 24 hours.
    * The 2nd time: From the day to within 5 days and the reserved time for 24 hours.
    * The 3rd time: From the day to within 4 days and the reserved time for 24 hours.

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

   

  •                CR装置の管理者予約制限のお知らせ

    1 研究室での予約時間割り当て(24時間/7日間)を越え、1回目の予約であること
    ・装置予約の原則として当日~7日間は、利用者がCR予約システムから予約する

    2 管理室での予約可能時間は、当日から6日以内とする
    ・6日目~7日目は、各研究室の予約時間割り当て(24時間/7日間)を優先するため、CR予約システムで1日間公開する

  • News of administrator reservation restriction of CR equipment

    1 Be the 1st time of reservation beyond the reserved time allocation at a laboratory (24 hours/7 days).
    * For on the day-7 days, the user makes a reservation from a CR reservation system as a principle of equipment reservation.

    2 The reservation possible hour at the management office is made in the range for 6 days from the day.

クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ~ 1/8 09:00)

  • 静岡大学の浜松キャンパスは、年末年始建物閉鎖となります。

    このため、光創起棟1階クリーンルームは、装置を停止します。 停止期間は以下となります。

    停止期間:平成30年12月27日(木)9時 ~ 平成31年1月8日(火)9時

    注:描画装置は、装置起ち上げ作業のため、平成31年1月10日(木)16時に復旧見込みです。

  • Hamamatsu campus in Shizuoka University will be New Year’s building closing.
    Therefore a clean room stops hikarisoukitou 1st floor of equipment.  A stop period will be below.

    Stop period:  9:00 Thursday December 27 in 2018-9:00 Tuesday January 8 in 2019
    Note:  Equipment stands up and for work, EB drawing equipment is restored hope on January 10, 2019 at 16:00 Thursday.