電子描画装置メンテナンスのお知らせ

電子銃交換及びメンテナンスのため、
下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。
ご連絡が直前になり大変申し訳ありません。

期間　：2023年2月26日(月)8:00　～　3月8日(金)17:00

Stop using Electron Beam Lithography System

For electron gun replacement and maintenance,
the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

A fixed date　:　 Monday, February 20, 8:00　 ～　Friday, March 8, 17:00