【Disabled Device】8/24~25停電、CRメンテナンス8/23~9/3について


  • 8月24日(土)と25日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・23日(金)12時:クリーンルーム装置利用停止
    ・24~25日:停電日
    ・26~27日:空調保守点検
    ・28~30日:特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月3日(火)12時:クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月3日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月5日(木)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。


  • On August 24th (Sat) and 25th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・23 From 12 o’clock Device use suspension
    · 24 – 25th: Simultaneous blackout
    · 26 – 27th: Air conditioning maintenance inspection
    · 28 – 30th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・September 3 From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 3.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 5.
    We will inform you again when there is an update of information.

電子描画装置メンテナンス(2019/3/4~2019/3/15)

  • 電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

    期日 :2019年3月4日(月)~ 3月15日(金)

    目的 :電子銃の交換

    レーザー干渉計の交換

  • Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

    A fixed date :  Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

    The purpose :  Exchange of an electron gun
    Exchange of a laser interferometer

エリプソ故障 復帰しました1/22 During a ellipsometer breakdown Use was resumed

  • エリプソ故障中  1/22(利用再開しました)

    トラブル:エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
    原因:ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
    対応:メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間:調査中 → 1月22日 利用再開

  • During a ellipsometer breakdown 2019/01/22(Use was resumed)

    Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
    Cause: For an error to occur at the time of a software start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.  2019/01/22(Use was resumed)

クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ~ 1/8 09:00)

  • 静岡大学の浜松キャンパスは、年末年始建物閉鎖となります。

    このため、光創起棟1階クリーンルームは、装置を停止します。 停止期間は以下となります。

    停止期間:平成30年12月27日(木)9時 ~ 平成31年1月8日(火)9時

    注:描画装置は、装置起ち上げ作業のため、平成31年1月10日(木)16時に復旧見込みです。

  • Hamamatsu campus in Shizuoka University will be New Year’s building closing.
    Therefore a clean room stops hikarisoukitou 1st floor of equipment.  A stop period will be below.

    Stop period:  9:00 Thursday December 27 in 2018-9:00 Tuesday January 8 in 2019
    Note:  Equipment stands up and for work, EB drawing equipment is restored hope on January 10, 2019 at 16:00 Thursday.

 

【Vacuum Deposition System】蒸着装置(汎用) 修理完了


  • 蒸着装置(汎用)のスイッチ部品が故障したため、現在使用停止しています。
    部品の交換は7/23以降に行う予定です。
    部品交換が完了しましたら、改めてお知らせいたします。

    【7/31追記】
    交換部品の納期は2週間後とのことです。

    【8/20追記】
    交換部品の到着は8/24(金)の予定です。
    ただし、24日午後からクリーンルームは翌日の停電に備える作業に入るため、蒸着装置の利用再開は8/31(金)以降になります。
    停電に関するお知らせは以下をご参照ください。

    【8/31追記】

    蒸着装置漏電ブレーカを交換し、修理完了しました。

    【Disabled Device】8月25,26日の停電について


  • Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) is inactive for switch component failure.
    Parts will be exchanged after July 23.
    We will inform you again once parts exchange is completed.

    【Add on 7/31】
    The delivery date of replacement parts is 2 weeks later.

    【Add on 8/20】
    The arrival of replacement parts is scheduled for 8/24 (Friday).
    However, from the afternoon of the 24th, clean room will start preparing for power outage the next day, resuming use of Vacuum Deposition System will be after 8/31 (Friday).
    Please refer to the following for announcements concerning power outages.

    【Add on 8/31】
    Restoration work is over.

    【Disabled Device】8月25,26日の停電について

【Disabled Device】8月25,26日の停電について


  • 8月25日(土)と26日(日)に城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。
    ・25~26日:停電日
    ・27~28日:空調保守点検
    ・29~31日:特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    各装置の利用再開は31日の点検終了後を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため翌週に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。



  • On August 25th (Sat) and 26th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.
    · 25 – 26th: Simultaneous blackout
    · 27 – 28th: Air conditioning maintenance inspection
    · 29 – 31st: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    Resumption of use of each device is planned after inspection on 31st.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the next week.
    We will inform you again when there is an update of information.


【EB Lithography System】電子線描画装置停止中


  • 先週末の台風の影響で描画装置の一部機能が停止してしまいました。
    復旧作業には2日ほどかかります。
    復旧作業が終了しましたら、改めてお知らせいたします。
    【8/2追記】
    復旧作業は終了しました。

  • Due to the typhoon of the last weekend, some functions of the Lithography System stopped.
    It will take about 2 days for recovery work.
    We will inform you again once the restoration work is over.
    【Add on 8/2】
    Restoration work is over.