- 8月25日(土)と26日(日)に城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。
・25~26日：停電日
・27~28日：空調保守点検
・29~31日：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
各装置の利用再開は31日の点検終了後を予定しています。
ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため翌週に再開する予定です。
情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。
- On August 25th (Sat) and 26th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.
· 25 – 26th: Simultaneous blackout
· 27 – 28th: Air conditioning maintenance inspection
· 29 – 31st: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
Resumption of use of each device is planned after inspection on 31st.
However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the next week.
We will inform you again when there is an update of information.