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2021/07/21
NEW! クリーンルーム利用停止のお知らせ(8/27-9/7)
2021/07/19
一部装置使用停止のお知らせ(7/20)
2021/06/25
電子線描画装置使用再開のお知らせ(6/26 17:00-)
2021/06/17
電子線描画装置使用停止のお知らせ(6/17-)※6/22追記
2021/05/28
汎用真空蒸着装置使用再開のお知らせ
2021/05/20
汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ(5/20-)
2021/04/30
イエロールーム利用停止のお知らせ(5/14)
2021/03/11
電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ
2021/03/02
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ
2021/03/01
電子線描画装置メンテナンスのお知らせ(3/1-3/12)