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静岡大学電子工学研究所クリーンルームとは

何をするところ？

・デバイスの作製（主にシリコン系デバイス）
・デバイスの評価

誰が使えるの？

・静岡大学所属の教職員と学生
・静岡大学教員から委託を受けた者
　（使用に伴って発生した受益者負担金の支払いを行えることが条件）

使用料は？

使用記録簿をもとに、年度毎（4/1～3/31）に利用状況を集計しています。
消耗品やメンテナンス費用を案分し、次年度に精算いたします。

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What's New

2019/06/17

NEW! 電気炉A使用停止

2019/04/15

クリーンルーム休止期間（4/27～5/6)のお知らせ

2019/03/18

クリーンルームは、3/27 13:30～16:30、利用出来ません。 A clean room can't be used the following date and time. March 27 Wednesday 13:30 - 14:30

2019/03/06

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧追記あり）

2019/02/20

電子描画装置メンテナンス(2019/3/4～2019/3/15)

2019/01/22

超純水装置利用を再開しました　Use of ultra pure water equipment was resumed.

2019/01/21

エリプソ故障復帰しました1/22　During a ellipsometer breakdown　Use was resumed

2019/01/21

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/12

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/10

クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ～ 1/8 09:00)
What is “RIE Clean Room”?

What is it used for?

・Fabrication of devices (mainly silicon based devices)
・Evaluation of devices

Who will use it?

・Faculty members and students belonging to Shizuoka University
・Person who received consignment from Shizuoka University faculty
　(Those who can pay beneficiary contributions)

How much is the fee for use?

We calculate the usage situation every fiscal year based on the use register.
We will allocate expendables and maintenance costs proportionally and settle for the next fiscal year.

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2019/06/17

電気炉A使用停止

2019/04/15

クリーンルーム休止期間（4/27～5/6)のお知らせ

2019/03/18

クリーンルームは、3/27 13:30～16:30、利用出来ません。 A clean room can't be used the following date and time. March 27 Wednesday 13:30 - 14:30

2019/03/06

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧追記あり）

2019/02/20

電子描画装置メンテナンス(2019/3/4～2019/3/15)

2019/01/22

超純水装置利用を再開しました　Use of ultra pure water equipment was resumed.

2019/01/21

エリプソ故障復帰しました1/22　During a ellipsometer breakdown　Use was resumed

2019/01/21

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/12

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/10

クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ～ 1/8 09:00)