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2021/11/26
NEW! 一部装置利用停止のお知らせ(12/7 14:00-15:00)
2021/11/16
抵抗率測定器利用再開のお知らせ
2021/11/11
電気炉B石英管交換のお知らせ
2021/11/05
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ(仮復旧)
2021/10/29
抵抗測定器使用停止のお知らせ(11/9追記)
2021/10/25
抵抗率測定器利用再開のお知らせ
2021/10/20
汎用真空蒸着装置復旧及び操作方法一部変更のお知らせ(10/20)
2021/10/01
抵抗率測定器使用停止のお知らせ(10/1)※10/11追記
2021/09/13
電子線描画装置利用者へのお知らせ(空調機の復旧)
2021/09/07
電子線描画装置利用者へのお知らせ(空調機の停止)