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What's New
2022/09/18
NEW! ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ※注意事項あり
2022/07/26
電気炉利用停止のお知らせ(8/2)
2022/07/20
メンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/26-9/6)
2022/06/30
ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(6/30-未定: 7/15追記)
2022/06/07
ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(6/7-6/15)6/7追記
2022/06/01
電子描画装置メンテナンスのお知らせ(7/4-7/15)
2022/04/12
電気炉利用停止のお知らせ(4/20)
2022/04/04
超純水精製装置利用停止のお知らせ(4/7 10:00-15:00予定)
2022/03/11
超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/14 10:00-15:00)
2022/03/01
窒素ガス供給停止による一部装置利用停止のお知らせ(3/9,3/17)