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What's New
2022/04/12
NEW! 電気炉利用停止のお知らせ(4/20)
2022/04/04
超純水精製装置利用停止のお知らせ(4/7 10:00-15:00予定)
2022/03/11
超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/14 10:00-15:00)
2022/03/01
窒素ガス供給停止による一部装置利用停止のお知らせ(3/9,3/17)
2022/02/04
電気炉A利用停止のお知らせ(2/4-)※追記あり
2021/12/13
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ
2021/11/26
一部装置利用停止のお知らせ(12/7 14:00-15:00)
2021/11/16
抵抗率測定器利用再開のお知らせ
2021/11/11
電気炉B石英管交換のお知らせ
2021/11/05
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ(仮復旧)