クリーンルームとは

何をするところ?

  • デバイスの作製(主にシリコン系デバイス)
  • デバイスの評価

誰が使えるの?

  • 静岡大学所属の教職員と学生
  • 静岡大学教員から委託を受けた者
    (使用に伴って発生した受益者負担金の支払いを行えることが条件)

使用料は?

クリーンルーム装置使用記録簿をもとに、年度毎(4/1~3/31)に利用状況を集計しています。
消耗品やメンテナンス費用を案分し、次年度に精算いたします。

 

 

現在のクリーンルーム

→稼働中
→停止中(詳細はDisabled Device情報へ)



※ページの更新は平日9~17時に行われます。更新時間外の装置トラブル等はすぐには反映されません。