クリーンルームとは

何をするところ？

• デバイスの作製（主にシリコン系デバイス）
• デバイスの評価

誰が使えるの？

• 静岡大学所属の教職員と学生
• 静岡大学教員から委託を受けた者
  （使用に伴って発生した受益者負担金の支払いを行えることが条件）

使用料は？

クリーンルーム装置使用記録簿をもとに、年度毎（4/1～3/31）に利用状況を集計しています。
消耗品やメンテナンス費用を案分し、次年度に精算いたします。

現在のクリーンルーム

■→稼働中
■→停止中（詳細はDisabled Device情報へ）

※ページの更新は平日9~17時に行われます。更新時間外の装置トラブル等はすぐには反映されません。