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What's New
2020/09/08
NEW! 工事によるクリーンルーム利用停止のお知らせ(9/25 8:30-15:00)
2020/08/05
クリーンルーム利用停止のお知らせ（8/28 12:00-9/8 12:00)※9/8追記
2020/07/13
クリーンルーム利用停止のお知らせ(7/17 9:00-12:00)
2020/03/13
デジタルマイクロスコープ復旧のお知らせ
2020/03/11
クリーンルーム利用停止のお知らせ(3/25)
2020/02/26
共用部清掃によるクリーンルーム立入禁止のお知らせ(3/7)
2020/02/21
ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ(3/2-3/3)
2020/02/14
デジタルマイクロスコープ使用停止のお知らせ(復旧未定)
2020/01/27
電子描画装置メンテナンスのお知らせ(2/4-2/14)
2020/01/08
酸ドラフト使用停止のお知らせ(1/14(月)9:00-14:00)