静岡大学電子工学研究所クリーンルーム

日本語
English

静岡大学電子工学研究所クリーンルームとは

何をするところ？

・デバイスの作製（主にシリコン系デバイス）
・デバイスの評価

誰が使えるの？

・静岡大学所属の教職員と学生
・静岡大学教員から委託を受けた者
　（使用に伴って発生した受益者負担金の支払いを行えることが条件）

使用料は？

使用記録簿をもとに、年度毎（4/1～3/31）に利用状況を集計しています。
消耗品やメンテナンス費用を案分し、次年度に精算いたします。

一覧へ

What's New

2019/01/22

NEW! 超純水装置利用を再開しました　Use of ultra pure water equipment was resumed.

2019/01/21

エリプソ故障復帰しました1/22　During a ellipsometer breakdown　Use was resumed

2019/01/21

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/12

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/10

クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ～ 1/8 09:00)

2018/12/03

CR予約システムの不具合について　12月4日(火)復活しました。

2018/11/06

局所排気装置点検のお知らせ　11月14日(水）　予備日11月16日(金)

2018/09/21

薬品管理システム保守点検 10/3 13:30～14:30

2018/08/20

【Vacuum Deposition System】蒸着装置（汎用）修理完了

2018/08/09

【Disabled Device】8月25,26日の停電について
What is “RIE Clean Room”?

What is it used for?

・Fabrication of devices (mainly silicon based devices)
・Evaluation of devices

Who will use it?

・Faculty members and students belonging to Shizuoka University
・Person who received consignment from Shizuoka University faculty
　(Those who can pay beneficiary contributions)

How much is the fee for use?

We calculate the usage situation every fiscal year based on the use register.
We will allocate expendables and maintenance costs proportionally and settle for the next fiscal year.

一覧へ

What's New

2019/01/22

超純水装置利用を再開しました　Use of ultra pure water equipment was resumed.

2019/01/21

エリプソ故障復帰しました1/22　During a ellipsometer breakdown　Use was resumed

2019/01/21

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/12

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

2018/12/10

クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ～ 1/8 09:00)

2018/12/03

CR予約システムの不具合について　12月4日(火)復活しました。

2018/11/06

局所排気装置点検のお知らせ　11月14日(水）　予備日11月16日(金)

2018/09/21

薬品管理システム保守点検 10/3 13:30～14:30

2018/08/20

【Vacuum Deposition System】蒸着装置（汎用）修理完了

2018/08/09

【Disabled Device】8月25,26日の停電について

静岡大学電子工学研究所クリーンルームとは

何をするところ？

誰が使えるの？

使用料は？

What is “RIE Clean Room”?

What is it used for?

Who will use it?

How much is the fee for use?