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2021/03/11
NEW! 電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ
2021/03/02
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ
2021/03/01
電子線描画装置メンテナンスのお知らせ(3/1-3/12)
2021/02/24
ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(3/1 8:00- 3/2 17:00)
2021/02/19
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)復旧のお知らせ
2021/02/05
クリーンルーム利用停止のお知らせ(2/19)
2021/01/25
マスクアライナ復旧のお知らせ
2021/01/15
マスクアライナ使用停止のお知らせ
2021/01/13
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)使用停止のお知らせ※1/14追記(1/19 10:00～)
2020/12/14
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ