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2021/01/25
NEW! マスクアライナ復旧のお知らせ
2021/01/15
マスクアライナ使用停止のお知らせ
2021/01/13
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)使用停止のお知らせ※1/14追記(1/19 10:00～)
2020/12/14
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ
2020/11/30
卓上型ランプ加熱装置利用開始のお知らせ
2020/11/04
電子線描画装置、ドラフト、超純水精製装置使用停止のお知らせ(11/11追記あり)
2020/10/20
抵抗率測定器復旧のお知らせ
2020/10/08
抵抗率測定器使用停止のお知らせ(10/8)
2020/09/08
工事によるクリーンルーム利用停止のお知らせ(9/25 8:30-15:00)
2020/08/05
クリーンルーム利用停止のお知らせ（8/28 12:00-9/8 12:00)※9/8追記