電子描画装置利用停止のお知らせ

トラブル内容：不具合により電子銃が立ち上がらない

対応：メーカーと対応中
停止期間：未定

※追記(4/1)　現在の対応状況は以下の通りです。

・3/16(月)現地点検作業を実施、真空系統（VACコントローラー）の復旧、HVタンクの故障を確認
・4/1 (水)HVタンク引き上げ作業を発注

・今後の予定
　HVタンク引き上げ作業実施
　メーカーによるタンクの詳細調査
　故障内容を確認後、修理及び取付け作業実施