電子線描画装置利用再開のおしらせ
電子線描画装置の高圧タンク・電子銃交換作業（7/6(月)-7/23(木)が終了したため、
明日より利用を再開いたします。長期間にわたりご利用を停止することとなり、ご不便・ご迷惑をお掛けしましたことを深くお詫び申し上げます。
今後ともよろしくお願いいたします。Notice of Service Resumption of electron Beam Lithography System
Maintenance work on electron Beam Lithography System was completed on Thursday 23 july.
Use of the apparatus will resume from tomorrow.