エリプソ故障中 1/22(利用再開しました）
トラブル：エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
原因：ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中 → 1月22日 利用再開During a ellipsometer breakdown 2019/01/22(Use was resumed）
Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
Cause: For an error to occur at the time of a software start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated. 2019/01/22(Use was resumed）