8月24日(土)と25日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

・23日(金）12時：クリーンルーム装置利用停止
・24~25日：停電日
・26~27日：空調保守点検
・28~30日：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
・9月3日(火）12時：クリーンルーム装置利用再開

各装置の利用再開は9月3日（火）12時以降を予定しています。
ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月5日(木)以降に再開する予定です。
情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

On August 24th (Sat) and 25th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

・23　From 12 o’clock　Device use suspension
· 24 – 25th: Simultaneous blackout
· 26 – 27th: Air conditioning maintenance inspection
· 28 – 30th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
・September　3　From 12 o’clock　Device usage resume

Resumption of use of each device is planned after inspection on September 3.
However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 5.
We will inform you again when there is an update of information.

日程：2019年9月4日(水)　13:00~16:00
影響：断水に伴い超純水の製造が停止します。

Date: September 4 (Wednsday),2019 13: 00 ~ 16: 00
Failure: Production of ultrapure water will stop due to water cutoff.

クリーンルームは、以下の期間利用出来ません。

期間　：2019年４月27日（土）　～　2019年5月6日(月)
理由　：長期休業中の安全確保のため

A clean room can’t be used the following period.

A fixed date　:　 Saturday, April 27,　 ～　Monday, May 6
A reason　:　 The safety ensuring closing down long.

電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

期日　：2019年3月4日（月）～　3月15日(金)

目的　：電子銃の交換

レーザー干渉計の交換

Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

A fixed date　:　 Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

The purpose　:　 Exchange of an electron gun
Exchange of a laser interferometer

エリプソ故障中 　1/22(利用再開しました）

トラブル：エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
原因：ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中　→　1月22日　利用再開

During a ellipsometer breakdown　2019/01/22(Use was resumed）

Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
Cause: For an error to occur at the time of a software start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated.　　2019/01/22(Use was resumed）

静岡大学の浜松キャンパスは、年末年始建物閉鎖となります。

このため、光創起棟1階クリーンルームは、装置を停止します。　停止期間は以下となります。

停止期間：平成30年12月27日（木）9時 ～ 平成31年1月8日（火）9時

注：描画装置は、装置起ち上げ作業のため、平成31年1月10日（木）16時に復旧見込みです。

Hamamatsu campus in Shizuoka University will be New Year’s building closing.
Therefore a clean room stops hikarisoukitou 1st floor of equipment.　 A stop period will be below.

Stop period: 　9:00 Thursday December 27 in 2018-9:00 Tuesday January 8 in 2019
Note: 　Equipment stands up and for work, EB drawing equipment is restored hope on January 10, 2019 at 16:00 Thursday.