• 電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

    期日 :2019年3月4日(月)~ 3月15日(金)

    目的 :電子銃の交換

    レーザー干渉計の交換

  • Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

    A fixed date :  Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

    The purpose :  Exchange of an electron gun
    Exchange of a laser interferometer