電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

期日　：2019年3月4日（月）～　3月15日(金)

目的　：電子銃の交換

レーザー干渉計の交換

Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

A fixed date　:　 Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

The purpose　:　 Exchange of an electron gun
Exchange of a laser interferometer