現在、電子工学研究所のサーバーメンテナンス中です。
このため、電研CR予約システムにも接続出来ません。
12月4日(火)には復帰すると思われますので、ご容赦願います。
よろしくお願いいたします。
局所排気装置点検のお知らせ 11月14日(水） 予備日11月16日(金)
クリーンルーム内の局所排気装置を点検します。
日時：11月14日(水）09:00～12：00となります。
雨天の場合は、11月16日(金) 09:00～12:00となります。
点検装置：下記装置が使用出来ません
現像用ドラフト・スピンコーター・ホットプレート・電気炉（A～D）
よろしくお願いいたします。
薬品管理システム保守点検 10/3 13:30～14:30
光創起棟の薬品管理システム保守点検日は、10月3日(水)13:30～14：30の予定です。
上記の時間を割けて、薬品を取り出して下さい。
よろしくお願いいたします。 クリーンルーム管理室
平成30年9月21日
薬品管理システム利用者 各位
安全衛生センター
薬品管理システム保守点検について（通知)
日頃、薬品管理システムのご利用ありがとうございます。
連絡が遅くなり大変申し訳ございませんが、本システムの維持管理のため
平成30年度薬品管理システムの保守点検を下記の日程で実施いたします。
当日は業者が各薬品管理室にて保守点検作業（約１時間）を行ないます
ので、ご協力方よろしくお願いいたします。
端末保守作業中は一時間程度、利用できませんので行程表を参考に調整
いただければ幸いです。
点検時間は保守作業により若干前後することがありますがご了承下さい。
※端末に関しては、点検時のみ一時的に停止する時間が発生します。
サーバーは原則として停止しませんが、バックアップ作成時のみ一時的に
停止する場合がありますのでご了承願います。
【Electron Beam Lithography System】電子描画装置利用再開のお知らせ
クリーンルーム利用者の皆様
電子描画装置利用再開のお知らせ
2月22日(木）16時に、電子描画装置の電子銃交換交換作業が終了しました。 これにより、電子描画装置を利用出来るようになりましたので、利用を再開します。
よろしくお願い致します。
【Electron Beam Lithography System】描画装置メンテナンスのお知らせ
描画装置利用者の皆様へ
描画装置の停止期間のお知らせ
2月13日(火）～2月23日(金)の期間、電子描画装置メンテナンス（電子銃交換交換作業）のため電子描画装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。
【Disabled】城北キャンパス停電によるクリーンルーム停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
8月26日(土）～８月27日(日）、は城北キャンパスが施設点検のため、停電となります。
このため、クリーンルームは、8月25(金)16：00～８月28日(月）13:30の期間、停止します。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
Everybody of the clean room user
It’ll be a blackout because Johoku campus is check of facilities on Saturday, August 26-on Sunday, August 27.
Therefore I do closing of facilities of a clean room in 16:00 on 25 Friday in August.
It resumes from 13:30 on Monday, August 28.
Please cooperate.
【Disabled】断水による装置停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
貯水槽清掃及び点検に伴う断水が有ります。
断水時には、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
記
断水日時 ： 平成29年9月4日(月) 9：00 ～ 12：00（3時間）
断水範囲 ： 電子工学研究所、光創起イノベーション研究拠点
操作停止装置： 超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）
注 意 ： 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。
以上
There is no water with water tank cleaning and check.
Water supply will be cut off from Sep 4th at 9 a.m. to at 12 a.m. in the following areas.
- Research Institute of Electronics
- Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
- Innovative Photonics Evolution Research Center
In the clean room, the following equipment will be suspended.
- Ultrapure Water Production System
- RIE (Reactive Ion Etching)
- Draft Chamber for wet
Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.
【Disabled】断水(7/29土8時～7/30日17時)のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
城北講義棟新営工事に伴う断水が有ります。
この影響で、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
記
断水日時 ： 平成29年7月29日(土) 8：00 ～ 7月30日(日) 17：00（33時間）
断水範囲 ： 電子工学研究所、ナノデバイス作製・評価センター、光創起イノベーション研究拠点
操作停止装置： 超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）
注 意 ： 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。
以上
Owing to new construction work of the lecture building, water supply will be cut off from July 29th at 8 a.m. to 30th at 5 p.m. in the following areas.
- Research Institute of Electronics
- Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
- Innovative Photonics Evolution Research Center
In the clean room, the following equipment will be suspended.
- Ultrapure Water Production System
- RIE (Reactive Ion Etching)
- Draft Chamber for wet
Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.
【Spin Coater】スピンコータの不具合
平成29年5月22日
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
スピンコーター（DELTA80T）使用出来ます(5/22)
ズース・マイクロテック社製のスピンコータ（DELTA80T）は、装置立上げ時にエラーメッセージ「Error from controller 47 Error lowering chuck」が発生していましたが、正常に起動出来るようになりました。
2017/5/17
To everybody of the clean room user.
Clean room management office
A spin coater (DELTA80T) can be used.(5/22)
Thank you.
【Disabled】断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ（再掲）
平成29年2月10日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ
施設課から、電子工学研究所棟の断水予定日(3/25)の連絡がありました。 このため、電研クリーンルームで水道水利用装置は断水日は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月25日(土) 9：00～17：00（8時間）
停止装置：超純水装置、RIE
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
日程が3月25日(土)に変更になりました。
前回の停止予定日は3月20日(土)でしたが、断水日変更により3月20日(土)は、全ての装置が利用出来ます。