Reserch Institute of Electronics Clean Room
平成29年3月8日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
超純水使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ
超純水の定期メンテナンスを行います。 定期メンテナンス作業中は、電研クリーンルームで超純水は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点はクリーンルーム管理室に、お問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月13日(月) 9：00～13：30（4時間程度）
停止装置：超純水装置（UVランプ交換 UFフィルタ交換 調整作業）
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
平成29年2月16日(木)
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
水野・清水
静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします
静岡大学では、２月25日（土）と3月12日（日）に、前期と後期の入学試験が有ります。
これに伴い、電子工学研究所クリーンルーム（314室・316室）の装置は使用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願いいたします。
なお、不明な点は、クリーンルーム管理室までお問い合わせ願います。
よろしくお願いいたします。
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電研棟では共通窒素ガス配管の定期点検のため、2月27日（月）～3月1日（水）の期間、共通窒素ガス配管からの窒素ガスが利用できません。 このため電研クリーンルームで、共通窒素ガスを利用している下記の装置は装置利用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。関係する装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月27日(月) ～ 3月1日(水)
２ 停止装置： 314室（FE-SEM 電気炉A・B・C・D アライナ スピンコーター エアガン）
316室（電子描画装置）
以上
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
FE-SEMトラブルによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)ですが、サンプルの導入・搬出作業時に大気導入による停止が頻発しています。 ここ一週間の間に十数回の大気導入による停止が発生し、ここ数日は、ベテラン利用者も同様のトラブルを発生させています。 この状態は、操作ミスよりも装置に起因するトラブルの可能性が高いため、装置の真空ポンプ系保護のために、FE-SEMを利用停止とします。 なお、2月6日（月）～2月9日（木）に定期メンテナンスを行いますので、この定期メンテナンスで通常状態に復帰する予定です。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月3日(金) ～ 2月9日(木)
２ 内 容： FE-SEM真空ポンプ系保護のための利用停止 (2/3～2/5)
JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整 (2/6～2/9)
以上
【2/9追記】
2月9日（木）16:30 メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使用できます。
平成29年1月14日（土）～1月15日（日）は、浜松キャンパスでセンター試験が有ります。
両日とも、関係者以外立入禁止となります。
これに伴い、クリーンルームも使用停止とします。
皆様のご協力を、よろしくお願い致します。
電研クリーンルーム利用者の皆様へ
年末年始、使用停止のお知らせ
下記の期間は、静岡大学浜松キャンパスは建物閉鎖となります。
平成28年12月27日（火）17:30 ~ 平成29年1月4日(水）07:00
したがって、クリーンルーム装置利用は、12月27日16:30まででとします。
新年は、1月4日（水）から利用できますが、エアコンは8時30分から始動します。
このため午前中の室内は、寒いですがご容赦ください。
ご協力をよろしくお願いいたします。
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成28年12月6日
電研クリーンルーム
水野・清水
FE-SEM定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月6日(月) ～ 2月9日(木)
２ 作業内容： JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整
以上
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成28年11月22日
電研クリーンルーム
水野・清水
電子描画装置定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所316室の電子描画装置は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 描画装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月13日(月) ～ 2月24日(金)
２ 作業内容： 電子銃交換
イオンポンプ１交換
ロータリーポンプオーバーホール
各種パーツ交換
その他作業
以上
装置トラブルのお知らせ(対応完了）
反射分光膜厚計(FE-3000)のPCが起動しない状態となり、反射分光膜厚計が使用出来ない状況となっていましたが、PC起動を行える状況となりました。 これにより反射分光膜厚計を使用出来ます。
PC起動が行えない原因は不明です。 これに対応するため、PC電源は常時ONにし、モニタのみ電源のON/OFFを行う事にします。 皆様のご協力をお願い致します。
2016年10月28日(金)
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反射分光膜厚計(FE-3000)が現在使用できません。
原因は、装置付属のPC故障により、使用出来ない状況となりました。 現在対応を検討中です。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。
2016年10月26日(水)
四探針抵抗測定器、使用停止のお知らせ
電研クリーンルーム（314室）の四探針抵抗測定器は、測定結果が不安定なため使用停止となりました。
クリーンルーム管理室では、測定結果不良の原因の特定のために、2016年9月28日にメーカーへ抵抗測定プローブと測定器を送付しました。 
今後は、メーカーからの連絡待ちとなりますが、修理等が必要になると思われます。
四探針抵抗測定器の使用開始日時は、現在のところ未定ですが、メーカーからの連絡が有りましたら、皆様には速やかにご連絡致します。
9/30 メーカの調査によると、四探針プローブに問題がありそうとことです。 現在、更なる調査を行い原因が確定後に修理を行う予定です。 クリーンルームへ装置が復帰し、利用出来る見込み日は10月13日（木）ぐらいになりそうです。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。
よろしくお願い致します。