316室蒸着装置、使用停止のお知らせ

　316室の蒸着装置ですが、トラブルが発生したため現在使用出来ません。　トラブル内容は、操作ミスによる拡散ポンプのオイルの劣化です。

メンテナンスとして、拡散ポンプオイルとロータリーポンプオイルの交換を行いました。　しかし、チャンバーの真空度が２×１０-3[Pa]以下にならない状況でした。

これに対応するため、先日(7/27)拡散ポンプ内の洗浄作業（オイル焦げ付きの研磨）を行いました。　　現在(7/28)、このメンテナンス作業の結果を見るために、真空引き中です。

現在蒸着装置が使用不能のため、皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、鋭意作業中ですのでご容赦願います。

描画装置利用者の皆様へ

描画装置メンテナンスによる使用停止のお知らせ(完了しました7/19）

　電子描画装置のメンテナンス作業を下記のように行います。

作業時間中は、電子描画装置は利用出来ません。　皆様には、ご迷惑をおかけ致しますが、ご容赦願います。

不明な点は、水野までお問い合わせ願います。

よろしくお願い致します。

記

作業期日：平成28年7月１９日（火）

停止時間：11:00～17:00

作業内容：試料交換棒・ イオンポンプ制御装置のメンテナンス

作業者：電子描画装置製造社の技術者

以上

アライナ利用者の皆様

 アライナ復旧のお知らせ

　アライナのメンテナンス作業を6月30日（木）午前中に行いました。　これにより、アライナで不具合が発生していた、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が復旧しました。　これにより、マスクとサンプルのアライメント操作が行えるように復旧しました。 

不具合の原因としては、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構を構成しているネジが外れたため、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が機能していない状態でした。

上記で不明な点は、水野までお問い合わせ願います。　よろしくお願い致します。

CR利用者の皆様へ

FE-SEMメンテナンス完了しました(H28年7月26日）

6月20日の午後に、FE-SEM電子銃室の真空表示値が低下した原因調査を行いました。　原因調査の結果、電子銃室のイオンポンプのUPS（無停電電源装置）により、電子銃室の真空表示値が低下している事がわかりました。

　なお、電子銃室の真空値は正常でしたが、UPS（無停電電源装置）は修理が必要でした。

　下記のような工程で、作業を行い修理を完了しました。

　皆様にはご迷惑をおかけ致しましたが、ご協力有り難うございました。　

記

　　　　　　　　作業工程

１　UPS（無停電電源装置）の代替機の確保

２　現在の故障UPSと代替UPSとの交換　完了

３　故障UPSをメーカーにて修理　　　　完了　

４　修理完了UPSと代替UPSとの交換調整 　完了　

注：２と４の作業ではFE-SEMを停止して、メーカー技術者が半日程度の作業を行いました。

　　以上