電子描画装置利用停止のお知らせ

トラブル内容：電子銃の加速電圧が立ち上がらない

対応：メーカーと対応中
停止期間：未定

7/10(水)追記：7/18(木)メーカーの点検作業予定

7/25(木)追記：原因が高圧タンクの故障と判断
　　　　　　　引き取り修理のためタンクを郵送して対応依頼中

9/25(水)追記：9/25(水)-9/27(金)に高圧タンク修理作業を実施
　　　　　　　作業後、動作に問題なければ利用再開となります

Stop using Electron Beam Lithography System

Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided