ウェーハプロセス用 処理装置


◆名称:電子ビーム描画装置
◆型番:ELS-7700K
◆メーカー:ELIONIX(類似製品紹介ページ
◆用途:電子ビームによる超微細パターンの描画
    主にフォトマスクの作成に使われる
◆スペック:
(1)電子工学系本体
 電子銃…熱電界放射型電子銃(ZrO/W)
 最小電子ビーム経…20nmφ
 最小描画線幅…7nm以下
 最大加速電圧…80kV
(2)試料室
 移動範囲…X,Y方向=155mm、Z方向=5mm
 最大試料サイズ…φ150mmまたは150mm角
 最小試料サイズ…5mm角以下
 描画位置決め分解能…0.31nm
 フィールド間つなぎ合わせ精度…40nm
 重ね合わせ描画精度…40nm
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◆名称:手動マスクアライナ
◆型番:MJB4
◆メーカー:SUSS MicroTec(製品紹介ページ
◆用途:試料にフォトマスクを接触させ紫外線を露光する
    試料上の任意の位置にパターンを転写できる
◆スペック:
解像度パターン…0.8μm L/S
最大露光エリア…100mmφ
照度分布…5%以下(100mmφ)
基板サイズ…5×5~25×25mm角
基板厚…最大4mm
マスクサイズ…2.5インチ角/3インチ角
アライメントステージ…
 XY軸可動範囲…±5mm
 θ軸可動範囲…±5°
 XY軸機械的分解能…0.1μm
 θ軸機械的分解能…4×10^-5°
 Z軸上昇時のXY軸のシフト量…0.1μm以下
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◆名称:スピンコーター
◆型番:ACT-220DⅡ
◆メーカー:アクティブ(製品紹介ページ
◆用途:高速回転の遠心力を使って試料にレジストを均一塗布する
◆スペック:
基板サイズ…φ10~φ100 (Max.φ4インチ、□70mm)
回転範囲/回転数精度…300~8000rpm/±3rpm以下
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◆名称:スピンコーター
◆型番:ACT-300AⅡ
◆メーカー:アクティブ(製品紹介ページ
◆用途:高速回転の遠心力を使って試料にレジストを均一塗布する
◆スペック:
基板サイズ…φ10~φ150 (Max.φ6インチ、□110mm)
回転範囲/回転数精度…10~6000rpm/±1rpm以下
◆操作手引き:



◆名称:平行平板型RIE装置
◆型番:RIE-10NR
◆メーカー:samco(製品紹介ページ
◆用途:Si、Poly-Si、SiO2、SiNなどの各種シリコン薄膜の高精度エッチング
◆スペック:
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◆名称:ICPエッチング装置
◆型番:RIE-200iP
◆メーカー:samco(製品紹介ページ
◆用途:シリコンおよび各種金属薄膜、化合物半導体などの高精度エッチング
◆スペック:
◆操作手引き:



◆名称:半導体用精密拡散炉
◆型番:ARF3-13A-700W
◆メーカー:アサヒ理化製作所(類似製品紹介ページ
◆用途:ウェット酸化、ドライ酸化、ボロン拡散、リン拡散、アニール
◆スペック:
温度コントローラー…プログラム温度コントローラー【16パターン16ステップ】
温度制御方式…PID制御
設定温度範囲…0~1200℃
温度設定精度…0.1℃単位
付加機能…過熱防止機構
制御素子…サイリスター
温度センサー…R熱電対
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◆名称:固体ソースECRプラズマ成膜装置
◆型番:AFTEX EC-2300
◆メーカー:MESアフティ(現JSWアフティ)(類似製品紹介ページ
◆用途:酸化物、窒化物などの薄膜形成
◆スペック:
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◆名称:電子顕微鏡試料作製用装置
◆型番:SC-701MkⅡADVANCE
◆メーカー:サンユー電子(製品紹介ページ
◆用途:金属ターゲットをスパッタさせ試料表面に薄膜を形成する
◆スペック:
電極…平行平板
スパッタリング方式…マグネトロン
スパッタリング方向…スパッタダウン
ターゲットサイズ…φ49mm、t0.5mm
適用可能ターゲット…Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe
試料ホルダー…最大φ50mm
到達圧力…1Pa以下
プロセスガス…アルゴン(0.1MPa以下)
タイマー設定…0~15min
ターゲット/試料間距離…20mm、30mm、40mm
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◆名称:真空蒸着装置(Al専用)
◆型番:VWR-400M/ERH
◆メーカー:ULVAC(製品紹介ページ
◆用途:真空中で抵抗加熱式蒸発源により物質を蒸発させ薄膜を作成する(アルミ専用)
◆スペック:
到達圧力…3.0×10^-4Pa
基板推奨サイズ/最大サイズ…□50mm/□140mm
メインポンプ…油拡散ポンプ(水冷)(400L/sec)
補助ポンプ…油回転真空ポンプ(200L/sec)
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◆名称:真空蒸着装置(汎用)
◆型番:VPC-260F
◆メーカー:ULVAC(製品紹介ページ
◆用途:真空中で抵抗加熱式蒸発源により物質を蒸発させ薄膜を作成する(汎用)
◆スペック:
到達圧力…6.6×10^-4Pa
基板推奨サイズ/最大サイズ…□50mm/□140mm
メインポンプ…油拡散ポンプ(水冷)(200L/sec)
補助ポンプ…油回転真空ポンプ(100L/sec)
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