- ◆10月18日（水）
316N室の蒸着装置はRP真空引き不良により使用停止となっております。
使用再開のめどがたち次第お知らせいたします。◆10月19日（木）
RPオイルとDPオイルの交換が完了しました。
これから一晩かけてDP内部の真空引きをします。
順調にDPが回復すれば明日午後には使用再開する予定です。◆10月20日（金）
真空引きテストが終了しました。
真空引き開始から30分で4.2×10-4Paまで到達しました。
蒸着装置は問題なく使用できます。※※※ おねがい ※※※
今回の装置トラブルの原因はRPオイルがDP内部まで逆流したことのようです。
装置使用後にRPを切る際はRPリークバルブを開ける操作を忘れずに行ってください。
また、「オイルを逆流させてしまった」「装置を壊してしまった」等の自覚がある方へ。
トラブルが起きたらすぐに職員まで知らせてください。
トラブルを放置されるのが一番困ります。
よろしくお願い致します。 - ◆October 18, Wednesday
Vacuum Coater in 316N room is stopped due to RP evacuation failure.
We will inform you as soon as we can resume use.◆October 19, Thursday
Oil change completed.
We will vacuum the inside of the DP overnight.
If DP recovers steadily, we plan to resume use tomorrow afternoon.◆October 20, Friday
The vacuuming test is over.
It reached 4.2 × 10 -4 Pa in 30 minutes from the start of evacuation.
Vacuum Coater can be used normally.※※※ NOTICE ※※※
This trouble seems to be caused by the RP oil flowing back to the inside of the DP.
Please do not forget to open the RP leak valve when turning off the RP after using the equipment.
In addition, to those with the awareness “I caused the equipment trouble.”
Please inform to staff as soon as the trouble occurs.
The most troubling thing for us is to hide the occurrence of trouble.
Thank you for your attention to this matter.