by
  • 現在、電子工学研究所全体のN2ガスが空のため、
    稼働にN2ガスを必要とする以下の装置は停止しています。

    ・電子線描画装置
    ・FE-SEM
    ・電気炉
    ・スピンコーター
    ・アライナー
    ・RIE
    ・ECRスパッタ
    ・窒素ガン

    新しいガスボンベが届き次第復旧作業を致します。

    【14:16追記】
    電子工学研究所のN2ガス供給が再開しました。上記装置も稼働致します。
    FE-SEMは真空ポンプが長時間停止した影響で、正常な真空度に到達するまで時間がかかります。
    再開までしばらくお待ちください。

    【16:50追記】
    SEM再開しています。

  • Since the N2 gas shared by the Research Institute of Electronics is empty,
    the following devices that require N2 gas for operation are currently suspended.

    ・Electron Beam Lithography System
    ・FE-SEM
    ・Electric Furnace
    ・Spin Coater
    ・Mask Aligner
    ・RIE
    ・ECR Sputter
    ・Nitrogen gun

    We will restore them as soon as a new gas cylinder arrives.

    【Added at 14:16】
    The supply of N2 gas at the Research Institute of Electronics resumed. The above devices will also be restarted.
    Regarding FE-SEM, the vacuum pump has been stopped for a long time, so it takes time to reach the normal degree of vacuum.
    Please wait for a while until restarting.

    【Added at 16:50】
    SEM has been restarted.