- 真空蒸着装置(汎用)はDPメンテナンスのため休止中です。
利用再開は7/4(水)を予定していますが、メンテナンスの進捗により前後する可能性もあります。
メンテナンス作業の経過状況は以下のようになっています。
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6/28(木)トラブル発生、DP冷却待ち
6/29(金)オイル交換、DP内洗浄(完了)、DP内真空引き
7/2(月)真空引きテスト
結果:8時間かけて目標圧力に到達
7/3(火)真空引きテスト
結果:3時間かけて9*10^-4[Pa]に到達
DP内真空引き(一晩中)
7/4(水)真空引きテスト
結果:2.3時間かけて目標圧力に到達
午後から利用再開 - Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) is inactive for DP maintenance.
Although we plan to resume use on July 4 (Wed), there is also the possibility of going back and forth depending on the progress of maintenance.
The progress of maintenance work is as follows.
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6/28 (Thu):Trouble occurrence, DP cooling wait
6/29 (Fri):Oil change, DP cleaning (completed), Vacuum DP
7/2 (Mon):Vacuum test
Result: It took 8 hours to reach the target pressure
7/3 (Tue):Vacuum test
Result: It took 3 hours to reach 9 * 10 ^-4 [Pa] Vacuum DP (Overnight)
7/4 (Wed):Vacuum test
Result: It took 2.3 hours to reach the target pressure
Resume usage from the afternoon