【EB Lithography System】電子線描画装置停止中

  • 先週末の台風の影響で描画装置の一部機能が停止してしまいました。
    復旧作業には2日ほどかかります。
    復旧作業が終了しましたら、改めてお知らせいたします。
    【8/2追記】
    復旧作業は終了しました。
  • Due to the typhoon of the last weekend, some functions of the Lithography System stopped.
    It will take about 2 days for recovery work.
    We will inform you again once the restoration work is over.
    【Add on 8/2】
    Restoration work is over.

【Chemicals】試薬製造社名の変更について

  • 2018年4月1日から、「和光純薬工業株式会社」は「富士フィルム和光純薬株式会社」に社名変更しました。
    それに伴い、電研CRで利用しているいくつかの試薬のラベルデザイン等に変化がありました。
    試薬の規格は以前と同じですので、安心してご使用ください。
    和光の社名変更に関しては以下のリンク先をご参照ください。
    http://ffwk.fujifilm.co.jp/news/index.html
  • “Wako Pure Chemical Industries, Ltd.” changed its name to “FUJIFILM Wako Pure Chemical Corporation” from April 1, 2018.
    Along with that, there was a change in the design etc. of some of the chemicals used in RIE CR.
    Chemical standards are the same as before, please use with confidence.
    Please refer to the link below for the change of company name of Wako.
    http://ffwk.fujifilm.co.jp/en/news/index.html

【Notice】廃液貯留場所について

  • ユーティリティ室の廃液貯留所は現在工事中(未完成)です。
    こちらに廃液を運び込まないようお願い致します。
    工事が完了するまでは酸ドラフト・アルカリドラフトが臨時貯留所となっております。
    廃酸タンクはふたを緩め、酸ドラフトの中でガスを逃がしてください。
    その他の廃液タンクは蓋をしっかりと閉め、アルカリドラフトに入れてください。
    ユーティリティ室の廃液貯留所の工事が完了したら改めてお知らせいたします。
    よろしくお願い致します。
  • Waste reservoir of utility room is under construction (incomplete).
    Please do not carry waste liquid here.
    Hume Foods (for acidic chemicals / for alkaline chemicals) are temporary reservoir until construction is completed.
    Loosen the lid of waste acid tank and let the gas escape in the Hume Foods (for acidic chemicals).
    Close the lid of other waste liquid tank firmly and put it in the Hume Foods (for alkaline chemicals).
    We will inform you once the construction of the waste reservoir of utility room is completed.
    Thank you.

【Mask Aligner】アライナメンテナンス(7/4完了)

  • アライナのメンテナンスを7/3~5に行います。
    メンテナンス中は装置を使用できません。
    【7/4追記】
    メンテナンスが終了しました。
    アライナは利用可能です。
  • Maintenance of the Mask Aligner will be carried out from July 3rd to 5th.
    It can not be used during maintenance.
    【Add on 7/4】
    Maintenance is completed.
    Mask Aligner is currently available.